[发明专利]提纯三氯氢硅的方法在审
| 申请号： | 201811139932.9 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN108892143A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘见华;赵雄;万烨;严大洲;赵宇;常欣 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 反应液体产物 甲基二氯硅烷 四氯化硅 提纯 催化剂 甲基三氯硅烷 三氯氢硅产品 反歧化反应 反应精馏 歧化反应 液固分离 高沸点 精馏塔 络合物 微量氧 高纯 精馏 脱除 催化 氧气 转化 引入 应用 | ||
1.一种提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将含甲基二氯硅烷的三氯氢硅原料与四氯化硅和氧气在催化剂的催化下进行歧化反应，得到的反应产物；
S2，对所述反应产物进行液固分离将所述催化剂和反应液体产物分离；以及
S3，将所述反应液体产物输入精馏塔脱除杂质、轻组分和重组分后得到三氯氢硅产品。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述四氯化硅的添加摩尔量为所述甲基二氯硅烷摩尔量的1～10倍，所述氧气加入摩尔量为所述三氯氢硅原料中施主和受主杂质摩尔量的2～50倍。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述S2中分离出来的所述催化剂返回所述S1重新利用。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述S1中歧化反应的温度为20～200℃，压力为0.1MPa～2.0MPa。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述催化剂为离子交换树脂，粒径＜100微米，优选50微米。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述S2中固液分离的固体分离精度＜50微米，优选为1微米。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述精馏塔的塔顶压力为40KPa～200KPa，温度为42～68℃。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述S1在微通道连续流反应器中进行。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述三氯氢硅原料进入所述微通道连续流反应器前，与催化剂进行混合。
10.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述S1中歧化反应的压力为1.0MPa。
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