[发明专利]一种12吋晶圆用平整固定装置

权利要求书

1.一种12吋晶圆用平整固定装置，用于对放置在封装设备中的12吋翘曲晶圆进行平整固定，其特征在于，包括：

承载台，安装在所述封装设备中；

吸附固定部，安装在所述承载台上，用于吸附固定所述12吋翘曲晶圆，具有可相对于所述承载台上下移动的预固定单元和装载固定单元以及用于为所述预固定单元和所述装载固定单元分别提供真空负压的负压单元；

检测部，用于检测所述12吋翘曲晶圆的平整度，包括负压检测单元和平整度检测单元，

其中，所述吸附固定部具有：预固定单元、装载固定单元以及用于为所述预固定单元和所述装载固定单元分别提供真空负压的负压单元，

所述预固定单元，安装在所述承载台上，可相对于所述承载台上下移动，用于对所述12吋翘曲晶圆进行预固定，

所述装载固定单元，安装在所述承载台上，可相对于所述承载台上下移动，用于装载固定所述12吋翘曲晶圆，具有底盘以及设置在所述底盘上的多个吸附孔和多个底盘通孔，该底盘通孔位于所述底盘的中央区域，用于供所述预固定单元通过，

所述预固定单元对所述翘曲晶圆进行预固定后，所述装载固定单元启动负压对预固定后的所述翘曲晶圆进行吸附固定；

所述底盘呈圆形，多个所述吸附孔呈七圈圆环状吸附孔圈排布，七圈所述吸附孔圈的圆心与所述底盘的圆心重叠，并沿所述底盘的直径方向由内向外排布；

所述预固定单元包括三根吸附固定杆，三根所述吸附固定杆呈正三角形排布，每根吸附固定杆穿过一个所述底盘通孔。

2.根据权利要求1所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，七圈所述吸附孔圈的直径分别为：40mm、80mm、110mm、140mm、180mm、226mm以及276mm。

3.根据权利要求1所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，所述吸附固定杆包括杆体和设置在所述杆体一端的固定头，所述杆体呈中空杆状，所述固定头呈喇叭状。

4.根据权利要求1所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，所述负压单元包括：

底盘负压组件，安装在所述底盘下方，与多个所述吸附孔连通；

预固定负压组件，与所述预固定单元连通；

以及压力调节组件，分别安装在所述底盘负压组件和固定杆负压组件上，用于分别对提供给所述底盘负压组件和固定杆负压组件的负压进行调节。

5.根据权利要求4所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，所述负压调节单元还包括负压总管道以及真空过滤器，

所述负压总管道的一端与真空发生装置连通，另一端分别与所述底盘负压组件和所述预固定负压组件连通，

所述真空过滤器安装在所述负压总管道上，用于对所述负压总管道内的气流进行过滤。

6.根据权利要求4所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，所述底盘负压组件包括七个底盘接头和分别与所述底盘接头连通的七根底盘负压管道，

所述底盘接头呈圆环形，与所述吸附孔圈一一对应设置，

七个所述底盘接头由内向外依次产生负压。

7.根据权利要求4所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，所述预固定负压组件包括三个吸附杆接头和分别与所述吸附杆接头连通的三根吸附杆负压管道，

所述吸附杆接头与所述吸附杆一一对应设置。

8.根据权利要求4所述的12吋晶圆用平整固定装置，其特征在于，压力调节组件包括多个底盘压力调节阀和多个吸附杆压力调节阀。