[发明专利]丝网印刷机印刷工艺在审
| 申请号: | 201811131578.5 | 申请日: | 2018-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN109244189A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
| 发明(设计)人: | 张育 | 申请(专利权)人: | 嘉兴金瑞光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 程开生 |
| 地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硅片 丝网印刷机 印刷工艺 制备 烧结 背电场 背电极 正电极 背面 后续流程处理 覆盖区域 加工效率 废片 半成品 印刷 加工 | ||
本发明公开了一种丝网印刷机印刷工艺,包括以下步骤。步骤S1:在待处理硅片的背面制备背电极。步骤S2:在待处理硅片的背面制备背电场。步骤S3:在待处理硅片的正面制备正电极。步骤S4:将待处理硅片进行烧结,以形成供后续流程处理的硅片半成品。本发明公开的丝网印刷机印刷工艺,通过巧妙设置背电极、背电场和正电极的覆盖区域和印刷、烧结流程,提高待处理硅片的加工质量和加工效率,同时减少废片比例。
技术领域
本发明属于硅片丝网印刷技术领域,具体涉及一种丝网印刷机印刷工艺。
背景技术
在制备硅晶片时,原料硅片需经历上料、水洗、下料、甩干等一系列工序。值得注意的是,为确保硅晶片制备精度和制备质量,原料硅片从上料开始,需严格根据各工序的工艺参数等相关规定执行。然而,在生产实践中发现,现有的丝网印刷工序存在缺陷,例如存在废片比例较高、成品一致性不佳等。
发明内容
本发明针对现有技术的状况,克服上述缺陷,提供一种丝网印刷机和一种丝网印刷机印刷工艺。
本发明采用以下技术方案,所述丝网印刷机印刷工艺,包括以下步骤:
步骤S1:在待处理硅片的背面制备背电极;
步骤S2:在待处理硅片的背面制备背电场;
步骤S3:在待处理硅片的正面制备正电极;
步骤S4:将待处理硅片进行烧结,以形成供后续流程处理的硅片半成品。
根据上述技术方案,所述步骤S1中,具体包括以下步骤:
步骤S1.1:通过丝网在待处理硅片的背面的第一预定区域印刷预置浓度的银浆;
步骤S1.2:将印刷有银浆的待处理硅片送入烘箱烘干。
根据上述技术方案,在步骤S2中,具体包括以下步骤:
步骤S2.1:通过丝网在待处理硅片的背面的第二预定区域印刷预置浓度的铝浆;
步骤S2.2:将印刷有铝浆的待处理硅片送入烘箱烘干。
根据上述技术方案,在步骤S3中,具体包括以下步骤:
步骤S3.1:通过丝网在待处理硅片的正面的第三预定区域印刷预置浓度的银浆;
步骤S3.2:将印刷有银浆的待处理硅片送入烘箱烘干。
根据上述技术方案,在步骤S4中,具体包括以下步骤:
步骤S4.1:将待处理硅片的背面朝上送入烧结炉,以烧结待处理硅片。
根据上述技术方案,步骤S1.1中,上述银浆的预置浓度为50%~80%。
根据上述技术方案,步骤S3.1中,上述银浆的预置浓度为65%~95%。
根据上述技术方案,步骤S2.1中,由上述第二预定区域与第一预定区域构成待处理硅片的背面的全部区域。
根据上述技术方案,步骤S1.2中,上述银浆在烘干时银浆的银离子渗透进入待处理硅片的背面以形成银硅合金层。
根据上述技术方案,步骤S3.2中,上述银浆在烘干时银浆的银离子渗透进入待处理硅片的正面以形成银硅合金层。
本发明公开的丝网印刷机印刷工艺,其有益效果在于,通过巧妙设置背电极、背电场和正电极的覆盖区域和印刷、烧结流程,提高待处理硅片的加工质量和加工效率,同时减少废片比例。
具体实施方式
本发明公开了一种丝网印刷机印刷工艺,下面结合优选实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





