[发明专利]电化学测定用室有效
| 申请号： | 201811127672.3 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109632898B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 长岛真也;五十井俊广;加藤久雄 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N27/30 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 陈冠钦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电化学 测定 | ||
1.电化学测定用室，用于采用透过了观察窗的电子束进行的测定，其特征在于，包含：
观察用MEMS芯片和
密封用MEMS芯片，
其中上述观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在上述薄膜上设置工作电极和对电极，上述密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，上述观察用MEMS芯片与上述密封用MEMS芯片间隔地配置，在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板，在上述区域中形成包含上述薄膜的观察窗，
上述工作电极与两者层叠体中的上述观察窗重叠，并且在上述观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔，
上述工作电极的上述贯通孔的外周位于上述观察窗的周缘部。
2.根据权利要求1所述的电化学测定用室，其特征在于，与贯通孔的孔的轴向正交的面中的上述贯通孔的平面形状为圆形。
3.根据权利要求1或2所述的电化学测定用室，其特征在于，与贯通孔的孔的轴向正交的面中的、多个贯通孔的合计面积占工作电极的外形面积之比为10～90％。
4.观察用MEMS芯片，其特征在于，包含：
包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，
其中在上述层叠体的一部分区域中不存在基板，在上述区域中形成包含上述薄膜的观察窗，
在上述薄膜上设置工作电极和对电极，
上述工作电极与上述观察窗重叠，并且在上述观察窗上具有多个贯通孔，
上述工作电极的上述贯通孔的外周位于上述观察窗的周缘部。
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