[发明专利]一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置

权利要求书

1.一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置，其特征在于，所述装置是利用环境透射电镜样品台同时集成安装了原位微气体束喷头和纳米压痕仪系统，所述原位微气体束喷头和所述纳米压痕仪系统含有所述纳米压痕仪测力探头；所述纳米压痕仪测力探头位于微气体束喷射区域；所述纳米压痕仪测力探头在样品附近区域三维移动，同时可以测量气体喷射产生的反作用力；

所述气体微束喷射时电镜内外平均压强、气体种类、纳米压痕仪测力探头截面积，通过测量得到的反作用力，可计算获得所述纳米压痕仪测力探头所处的纳米尺寸局部空间的等效压强；

所述等效压强概念是基于局部空间单位时间经过单位截面积的气体分子数量。

2.根据权利要求1所述的一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置，其特征在于，所述电镜内为非平衡态，若气体微束在局部空间单位时间经过单位截面积的气体分子数量与另一平衡态气体相当，则认为两者具有相同的等效压强。

3.根据权利要求1所述的一种测量透射电镜中微气体束引起的局部等效压强的装置，其特征在于，所述纳米压痕仪测力探头完成测力后能够移动出所述气体束喷射空间，不影响后续气氛原位电镜实验。