[发明专利]一种延长制程等待时间的后制程方法

权利要求书

1.一种延长制程等待时间的后制程方法，其特征在于，包括：

提供晶圆传送盒，多个晶圆放置入所述晶圆传送盒中，所述晶圆传送盒设置有出气孔和进气孔；所述晶圆传送盒由单片式晶圆处理设备传输连接至清洁设备中，所述清洁设备内设置有抽气泵和氮气填充装置，当所述晶圆传送盒由传输状态至连接定位状态，所述抽气泵与所述出气孔连接，用于对所述晶圆传送盒内部进行抽气，并且所述氮气填充装置与所述进气孔连接，用于向所述盒的内部填充氮气；

打开连通所述晶圆传送盒的所述抽气泵对所述晶圆传送盒的内部进行抽气，以第一次降低所述晶圆传送盒内气体污染物的浓度；

其中，抽气过程中达到第一时长后关闭所述抽气泵，所述第一时长的范围为2至5分钟；

紧接在所述抽气步骤后，打开连通所述晶圆传送盒的氮气填充装置向所述晶圆传送盒的内部填充氮气，以第二次降低所述晶圆传送盒内气体污染物的浓度，并恢复所述晶圆传送盒的内部压强，至少到达提供所述晶圆传送盒的阶段的内部压强，所述提供所述晶圆传送盒的阶段的内部压强为常压；

其中，填充氮气过程中达到第二时长后关闭所述氮气填充装置，所述第二时长的范围为7至30分钟。

2.根据权利要求1所述的延长制程等待时间的后制程方法，其特征在于，所述出气孔和所述进气孔设置于所述晶圆传送盒的底部。

3.根据权利要求1所述的延长制程等待时间的后制程方法，其特征在于，所述晶圆传送盒中经单片式制程处理的所述晶圆具有的延长制程等待时间在大于等于20分钟，所述气体污染物的浓度小于5ppbv。