[发明专利]预对准装置及方法

权利要求书

1.一种预对准装置，包括：底板（10）、设置在所述底板（10）上的升降轴（20）、补偿轴（30）和光机组件（40），其特征在于，还包括：

旋转轴组件（50），包括旋转轴（51）和延长杆（52），所述旋转轴（51）设置在所述升降轴（20）上，所述延长杆（52）的一端与所述旋转轴（51）连接；

爪盘（60），连接至所述延长杆（52）的另一端，所述爪盘（60）上沿周向间隔设置有多个第一吸附组件（62）；

圆环吸盘（70），与所述补偿轴（30）连接，其上设置有多个第二吸附组件（71），所述圆环吸盘（70）的直径小于所述爪盘（60）的分布圆直径，且所述圆环吸盘（70）套设在所述旋转轴组件（50）外侧，所述圆环吸盘（70）与所述旋转轴组件（50）之间具有间隙；

所述旋转轴组件（50）能够带动所述爪盘（60）旋转，所述升降轴（20）能够带动所述爪盘（60）沿垂直方向做升降运动，所述补偿轴（30）能够带动所述圆环吸盘（70）沿水平方向运动，所述爪盘（60）上设有所述爪盘（60）和所述圆环吸盘（70）进行硅片交接时供所述第二吸附组件（71）穿过的交接空隙；

所述第二吸附组件（71）的高度大于所述第一吸附组件（62），所述第二吸附组件（71）和所述第一吸附组件（62）之间的高度差能够满足所述爪盘（60）与所述圆环吸盘（70）交接时，所述第一吸附组件（62）的吸附表面与所述第二吸附组件（71）的吸附表面共面，并且所述爪盘（60）继续向下运动后，所述第二吸附组件（71）的吸附表面高于所述第一吸附组件（62）的吸附表面；

所述光机组件（40）用于在爪盘60和圆环吸盘70运动过程中采集硅片的边缘信息和缺口信息并将采集到的信息发送给控制器。

2.根据权利要求1所述的预对准装置，其特征在于，所述第一吸附组件（62）和/或所述第二吸附组件（71）包括刚性支柱（621）和橡胶吸盘（624），所述刚性支柱（621）上开设有第一通气孔（626），所述橡胶吸盘（624）与所述刚性支柱（621）连接，且所述橡胶吸盘（624）与所述第一通气孔（626）连通。

3.根据权利要求1所述的预对准装置，其特征在于，所述第一吸附组件（62）和/或所述第二吸附组件（71）包括：刚性支柱（621）、弹性件（622）、弹性支柱（623）和橡胶吸盘（624），所述弹性件（622）设置在所述刚性支柱（621）内部，所述弹性支柱（623）上开设有第二通气孔（625），所述弹性支柱（623）一端设置在所述刚性支柱（621）内与所述弹性件（622）套接，另一端设置在所述刚性支柱（621）外部与所述橡胶吸盘（624）连接，所述橡胶吸盘（624）与所述第二通气孔（625）连通。

4.根据权利要求1所述的预对准装置，其特征在于，所述爪盘（60）上还设置有第三吸附组件（65），所述第三吸附组件（65）的中心与对应的所述第一吸附组件（62）的中心及所述爪盘（60）的中心在一条直线上，且所述第三吸附组件设置在对应的所述第一吸附组件和所述爪盘（60）的中心之间。

5.根据权利要求4所述的预对准装置，其特征在于，所述第三吸附组件（65）包括刚性支柱（621）和橡胶吸盘（624），所述刚性支柱（621）上开设有第一通气孔（626），所述橡胶吸盘（624）与所述刚性支柱（621）连接，且所述橡胶吸盘（624）与所述第一通气孔（626）连通。

6.根据权利要求4所述的预对准装置，其特征在于，所述第三吸附组件（65）包括：刚性支柱（621）、弹性件（622）、弹性支柱（623）和橡胶吸盘（624），所述弹性件（622）设置在所述刚性支柱（621）内部，所述弹性支柱（623）上开设有第二通气孔（625），所述弹性支柱（623）一端设置在所述刚性支柱（621）内与所述弹性件（622）套接，另一端设置在所述刚性支柱（621）外部与所述橡胶吸盘（624）连接，所述橡胶吸盘（624）与所述第二通气孔（625）连通。