[发明专利]波纹管以及薄膜沉积设备

说明书

本发明提供一种波纹管以及薄膜沉积设备，属于沉积设备技术领域，其可至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题。本发明的一种波纹管，包括：本体，本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于本体外侧，且处于本体的轴向上的第一位置；挂钩，挂钩的第一端与本体外侧连接，且处于本体的轴向上的第二位置，挂钩的第二端具有与销轴匹配的挂接结构，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴能卡入挂接结构内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。

技术领域

本发明属于沉积设备技术领域，具体涉及一种波纹管以及薄膜沉积设备。

背景技术

波纹管作为一种特殊的管道，其应用范围十分广泛，例如可作为沉积设备的通气管道、作为压力测量仪表的测量元件等。

现有技术中一种波纹管94可作为一种薄膜沉积设备的通气管道，如图1a所示。该薄膜沉积设备的加热基座91的工作台(用于承载待沉积薄膜的基底)位于加热腔室92中，而加热基座91的支撑柱与设于加热腔室92外的升降基座95连接，使得升降基座95的升降可以调整加热基座91的位置。为在升降基座95运动时能保持加热腔室92的密封，在位于加热腔室92外面的支撑柱上套设一个波纹管94，波纹管94两端分别密封的连接加热腔室92具有通孔的外壁和升降基座95，故当升降基座95升降时，波纹管94伸缩，但加热腔室92一直保持密封。同时，波纹管94与支撑柱形成与加热腔室92连通的环状空腔，从而可通过该环状空腔向加热基座91背面吹气体，避免在加热基座91背面成膜。

由于波纹管94的一端与加热腔室92外侧固定、另一端与升降基座95固定，而加热基座91的支撑柱需要固定在波纹管94内，因此，对加热基座91的安装或者拆卸过程如下，如图1b所示，首先需要人工将波纹管94与升降基座95固定的一端拆下并抬升，此时的波纹管94收缩，然后在波纹管94与升降基座95之间放置支撑件93，以固定波纹管94收缩后的形状，使升降基座95与波纹管94具有一定距离，最后再进行加热基座91的安装或者拆卸。

然而，位于波纹管94与升降基座之间的用于限定波纹管94形状的支撑件93在实际安装或者拆卸过程中需要挪动位置，这样不仅可能导致收缩后波纹管94不稳定，从而影响加热基座91拆卸或者安装的效率，而且可能产生一些安全隐患，例如由于波纹管94的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手。

发明内容

本发明至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题，提供一种自限位的可伸长或者收缩的波纹管。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种波纹管，包括：

本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；

销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；

挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度。

进一步优选的是，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。

进一步优选的是，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。

进一步优选的是，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。