[发明专利]一种Bi2

权利要求书

1.一种钨酸铋Bi2WO6薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下原料：钨酸铵，硝酸铋，去离子水，乙酰丙酮，硝酸，

包括以下步骤：

（1）Bi2WO6薄膜前驱体溶液的配制：用电子天平称取摩尔比为1:2的钨酸铵和硝酸铋，将上述原料溶解在去离子水中，量取钨酸铵摩尔比为1：1的乙酰丙酮作为螯合剂，加入硝酸调节pH值在1-1.5，最后用去离子水调节溶液浓度为0.4mol/L，将上述溶液放在磁力搅拌器中搅拌12小时，得到澄清透明的溶液，常温静止24小时，得到Bi2WO6前驱体溶液；

（2）用匀胶机将前驱体溶液均匀旋涂在清洗干净的玻璃基片上；

（3）湿膜烘干：将涂膜结束的湿膜快速转移到100-150℃的电热板上60s烘干；

（4）预处理：将烘干的干膜置于快速退火炉中，预处理温度为250-350℃，保温时间100-200s；

（5）最终退火：将预处理的薄膜在退火炉中退火，退火温度为450-550℃，保温时间为200-300s，得到晶态薄膜；

（6）将湿膜的制备和热处理成膜两个阶段重复，从而制得所需厚度的薄膜，制备的薄膜层数为10层。