[发明专利]一种BiFeO3

权利要求书

1.一种BiFeO₃和Bi₂WO₆复合薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

（1）BiFeO₃薄膜前驱体溶液配制：首先用电子天平按照各溶质的摩尔计量比进行称取，硝酸铁与硝酸铋的摩尔比为1：1.1；用移液管量取体积比为1:3的乙二醇和冰乙酸作为溶剂，将上述溶质和溶液置于磁力搅拌器上搅拌12小时，直至溶质全部溶解，待溶液搅拌均匀后，量取与硝酸铋摩尔比为1:1的乙酰丙酮作为螯合剂加入其中，在磁力搅拌器上匀速搅拌12小时，得到暗红色半透明溶液，最后再补充乙二醇和冰乙酸，控制溶液浓度为0.3mol/L，pH值在0.3-0.4，将所得的半透明暗红色溶液置于常温下静置24小时，得到制备BiFeO₃薄膜样品所需的前驱体溶液；

（2）Bi₂WO₆薄膜前驱体溶液的配制：用电子天平称取摩尔比为1:2的钨酸铵和硝酸铋，将上述溶质溶解在去离子水中，量取钨酸铵摩尔比为1:1的乙酰丙酮作为螯合剂，去离子水调节溶液浓度为0.3mol/L，用硝酸调节pH值在0.3-0.4；将上述溶液放在磁力搅拌器中搅拌12小时，得到澄清透明的溶液，常温静止24小时，得到Bi₂WO₆薄膜前驱体溶液；

（3）将BiFeO₃和Bi₂WO₆溶液按照摩尔比1:1混合搅拌24小时，得到混合的Bi₃WFeO₉前驱体溶液；

（4）将混合的前驱体溶液均匀旋涂在清洗干净的玻璃基体上；

（3）湿膜烘干：将涂膜结束的薄膜样品快速转移到100-150℃的电热板上60s烘干；

（4）预处理：将前期所制备的干模置于快速退火炉中，预处理温度为300-400℃，保温时间100-200s；

（5）最终退火：将预处理好的薄膜在快速退火炉中退火，退火温度为400-500℃，保温时间都为200-300s，得到Bi₃WFeO₉晶态薄膜；

（6）将湿膜的制备和热处理成膜两个阶段重复，从而制得所需厚度的薄膜样品，制备的薄膜层数为10层。