[发明专利]一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统

说明书

本发明公开一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：首先建立半导体设备振动元件的故障振动波形数据库，采集多个所述振动传感器的振动信号，再对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号，对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。本发明能够保障在半导体设备振动元件发生故障前启动报警功能，预先采取应变措施，防止突发性停机事故的发生，达到生产稳定化目标。

技术领域

本发明涉及半导体蚀刻机台附属设备干式泵监测技术领域，特别是涉及一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统。

背景技术

现有技术中判断泵是否需要更换往往通过计算泵投入使用的时间来判定，一般泵工作寿命为8000至10000小时，这种工作方式较为简单。但因为泵的本身质量及其工作环境的不同，泵的寿命以工作时间作为参考标准存在很多的局限因素，例如，实际工作中泵会在规定寿命时间内出现故障，如，润滑油不足、结构件出现裂纹、噪声过大、负压不足温度过高等；另外，也有可能泵在超过规定寿命之后其工作状况依旧良好，不需要更换。

还可以通过听泵的噪声变化、电流值变化、用红外测温仪测泵的温度、查看泵的工作转速是否符合要求来判断泵是否具有良好的标准，但是此种方式需人员现场查看，很多情况是凭借经验判断，容易造成误判，无法实现对半导体设备性能的准确、有效检测。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，用于解决现有技术中需人员现场查看，容易造成误判的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种半导体设备振动元件性能监测方法，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：建立所述半导体设备振动元件的故障振动波形数据库；采集多个所述振动传感器的振动信号；对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。

在本发明的一实施例中，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括：将各所述的波形信号分别跟踪记录，建立所述半导体设备振动元件的性能趋势图，并根据所述性能趋势图对所述半导体设备振动元件设定异常报警及故障预警。

在本发明的一实施例中，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括对多个所述波形信号进行波形分析，根据波形分析结果预测所述半导体设备振动元件的使用寿命或更换周期。

在本发明的一实施例中，所述半导体设备振动元件为真空泵。

为实现上述目的，本发明还提供一种半导体设备振动元件性能监测系统，其特征在于，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测系统包括：振动波形数据库；振动信号采集模块，用于采集多个所述振动传感器的振动信号；智能管理模块，用于对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；智能监测模块，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作性能。

在本发明的一实施例中，所述智能监测模块包括波形信号分析单元、数据存储单元、数据传输单元、控制单元、控制中心单元，其中，波形信号分析单元，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数据库进行分析比对，根据分析比对结果获得所述半导体设备振动元件的性能参数；数据存储单元，用于对所述性能参数进行存储；数据传输单元，用于将存储于所述数据存储单元中的性能参数进行传输，所述数据传输单元分别与所述数据存储单元、所述控制单元之间建立通信连接；控制单元，用于接收来自所述数据传输单元的性能参数；控制中心单元，用于接收来自所述控制单元的性能参数，根据所述性能参数实时实现对所述半导体设备振动元件的监测。