[发明专利]一种湿式机台槽内载具及其工作方式

权利要求书

1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；

所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。

2.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置传动机构(3)包括第一转动轴(31)、第一传动皮带轮(32)、传动皮带(33)、第二转动轴(34)、第二传动皮带轮(35)、传动电机(36)以及传动电机固定架(37)，所述第一传动轴(31)安装于机台槽(2)侧壁的轴承上，所述第一传动轴(31)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接第一传动皮带轮(32)，所述传动电机(36)通过传动电机固定架(37)安装于密封舱(4)的内侧壁上，所述第二转动轴(34)一端连接传动电机(36)输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮(35)，所述第一传动皮带轮(32)与第二传动皮带轮(35)通过传动皮带(33)连接。

3.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体干燥装置(6)包括空气干燥剂(61)、干燥装置外壳(63)以及过滤网(63)，所述空气干燥剂(61)与过滤网(63)设于干燥装置外壳(63)内，所述客气干燥剂(61)外侧包裹有过滤网(63)，所述过滤网(63)固定于干燥装置外壳(63)内侧壁上，所述干燥装置外壳(63)两端连接有气体输入管道(5)；

所述干燥装置外壳(63)两端连接气体输入管道(5)处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道(5)与干燥装置外壳(63)两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。

4.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体过滤装置(8)包括过滤上盖(81)、过滤外壳(82)、过滤网(83)以及滤芯(84)，所述过滤上盖(81)上端安装有气体输入管道(5)，所述过滤外壳(82)下端侧面设有气体输入管道(5)，所述过滤网(83)以及滤芯(84)设于过滤外壳(82)内侧，所述过滤上盖(81)设于过滤外壳(82)上端面，所述滤芯(84)包裹于过滤网(83)内部；

所述过滤上盖(81)与过滤外壳(82)通过螺纹配合。