[发明专利]结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台

权利要求书

1.结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，包括定平台(1)以及通过交叉滚柱导轨(4)滑动连接的动台面(2)，其特征是：所述的动台面(2)的下方设有两条分别与所述的交叉滚柱导轨(4)平行的挡条(23)，且所述的挡条(23)设于两条交叉滚柱导轨(4)之间；两条挡条(23)之间沿着挡条(23)长度方向顺次设置有第一钳位组(12)、第一驱动组(5)、第二驱动组(6)和第二钳位组(13)，所述的定平台(1)包括连接第一驱动组(5)和第二驱动组(6)的支架(14)；所述的第一钳位组(12)和第一驱动组(5)之间，以及第二驱动组(6)和第二钳位组(13)之间分别通过桥接部(15)连接；所述的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)沿着垂直于挡条(23)方向作伸缩钳位运动，第一驱动组(5)和第二驱动组(6)分别沿着挡条(23)的长度方向作伸缩运动；通过对第一钳位组(12)、第一驱动组(5)、第二钳位组(13)和第二驱动组(6)的时序控制使动台面(2)作尺蠖式行走和定位。

2.根据权利要求1所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的第一钳位组(12)与所述的第二钳位组(13)的结构相同，分别包括两个分设于连接部两侧的呈菱形的钳位桥式放大单元(72)，以及设于钳位桥式放大单元(72)内的释放用压电执行器(71)，所述的释放用压电执行器(71)的伸缩方向与挡条(23)的长度方向一致，所述的释放用压电执行器(71)的伸缩端顶配于钳位桥式放大单元(72)内；

所述的第一驱动组(5)与所述的第二驱动组(6)的结构相同，分别包括两个分设于连接部两侧的呈菱形的驱动桥式放大单元(82)，以及设于驱动桥式放大单元(82)内的驱动用压电执行器(81)，所述的驱动用压电执行器(81)的伸缩方向垂直于所述的挡条(23)的长度方向，所述的驱动用压电执行器(81)的伸缩端顶配于驱动桥式放大单元(82)内。

3.根据权利要求2所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的钳位桥式放大单元(72)包括顶设于释放用压电执行器(71)两个伸缩端的第一刚性块(721)和第二刚性块(722)，设于释放用压电执行器(71)侧方用于钳位所述的挡条(23)的第三刚性块(723)，以及顺次连接第一刚性块(721)、第三刚性块(723)、第二刚性块(722)和所述的桥接部(15)的钳位柔性薄板(724)；

所述的驱动桥式放大单元(82)包括顶设于驱动用压电执行器(81)两个伸缩端的第四刚性块(821)和第五刚性块(822)，以及顺次连接所述的第四刚性块(821)、桥接部(15)、第五刚性块(822)和支架(14)的驱动柔性薄板(823)。

4.根据权利要求3所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的定平台(1)设有位于桥接部(15)延伸方向的基座(11)，所述的基座(11)与所述的桥接部(15)之间连有防止第一钳位组(12)和第二钳位组(13)上下翻动的弹性件。

5.根据权利要求4所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的弹性件为柔性折叠梁(16)，所述的柔性折叠梁(16)为横向的弯折结构。

6.根据权利要求5所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的定平台(1)、基座(11)、柔性折叠梁(16)、钳位桥式放大单元(72)、桥接部(15)、支架(14)和驱动桥式放大单元(82)为一体成型结构。

7.根据权利要求6所述的结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的交叉滚柱导轨(4)包括动导轨(42)和定导轨(41)，所述的动台面(2)设有顶配于所述的动导轨(42)上端面的第一凸条(22)；所述的定平台(1)设有用于放置所述的交叉滚柱导轨(4)的安装槽(17)，所述的安装槽(17)内设有顶配于所述的定导轨(41)下端面的第二凸条(171)，所述的安装槽(17)的侧壁设有方便置入导轨预紧螺钉的侧孔(172)；所述的动导轨(42)的下端旋设有将动导轨(42)固定于动台面(2)的第三螺钉(421)，所述的定导轨(41)的上端旋设有将定导轨(41)固定于定平台(1)的第四螺钉(411)，所述的动台面(2)设有方便调节第四螺钉(411)的通孔(21)。