[发明专利]一种用于γ-AlTi合金防护的耐高温熔盐腐蚀纳米多层复合涂层及其制备方法有效
| 申请号: | 201811090087.0 | 申请日: | 2018-09-18 |
| 公开(公告)号: | CN109234672B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
| 发明(设计)人: | 邹长伟;唐晓山;梁枫;田灿鑫 | 申请(专利权)人: | 岭南师范学院 |
| 主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 刘瑶云;陈伟斌 |
| 地址: | 524048 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 alti 合金 防护 耐高温 腐蚀 纳米 多层 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于γ-AlTi合金防护的耐高温熔盐腐蚀纳米多层复合涂层,其特征在于,包括在基体表面依次设置元素和应力渐变结构的AlCrON缓冲层和纳米多层复合层,所述纳米多层复合层包括在AlCrON缓冲层表面依次交替设置的AlCrSiYN功能层和MoSiB扩散阻挡层;所述AlCrSiYN层中,Al元素的原子百分数为36~42%,Cr元素的原子百分数为6~12%,Si元素的原子百分数为4~8%,Y元素的原子百分数为3~7%,氮元素的原子百分数为40~47%;所述MoSiB层中,Mo元素的原子百分数为48~60%,Si元素的原子百分数为21~34%,B元素的原子百分数为10~22%。
2.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,每层AlCrSiYN层和MoSiB层的厚度分别独立地选自20~80nm和5~20nm。
3.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,所述AlCrSiYN层的数量为10~80层。
4.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,最外层的MoSiB层上还设置有一层AlCrSiYN层。
5.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,所述AlCrSiYN层为(Al,Cr)N纳米晶、非晶Si3N4和非晶YN结构组成的复合结构。
6.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,所述MoSiB层为非晶结构。
7.根据权利要求1所述纳米多层复合涂层,其特征在于,所述AlCrON缓冲层的厚度为200~1200nm。
8.权利要求1~7任一所述纳米多层复合涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:在基体表面沉积元素和应力渐变结构的AlCrON缓冲层;
S2:在S1得到的的AlCrON缓冲层的表面依次交替沉积AlCrSiYN功能层和MoSiB扩散阻挡层,即得所述纳米多层复合涂层。
9.根据权利要求8所述制备方法,其特征在于,S1中利用阴极电弧离子镀技术在基体表面沉积AlCrON缓冲层。
10.一种耐热结构材料,其特征在于,包括γ-AlTi合金基体和设置在所述γ-AlTi合金基体表面的权利要求1~7任一所述纳米多层复合涂层。
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