[发明专利]一种CrAlBCN涂层、低摩擦耐海水腐蚀纳米复合CrAlBCN涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811089886.6 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109161848B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 邹长伟;薛书文;梁枫;田灿鑫 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘瑶云;陈伟斌 |
| 地址： | 524048 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cralbcn 涂层 摩擦 海水 腐蚀 纳米 复合 及其 制备 方法 | ||
1.一种CrAlBCN涂层，其特征在于，所述CrAlBCN涂层具有nc-(Al, Cr)N/a-BN-a-C结构，纳米(Al，Cr)N晶粒镶嵌于非晶BN及非晶C基体之中；
其中，所述CrAlBCN涂层中Cr元素的原子百分数为 20~30 %，Al元素的原子百分数为10~15 %，B元素的原子百分数为10~15 %，C元素的原子百分数为21~25 %，N元素的原子百分数为 20~26 %。
2.根据权利要求1所述CrAlBCN涂层，其特征在于，所述CrAlBCN涂层的硬度大于20GPa，低摩擦系数低于0.3，结合力大于60N。
3.一种低摩擦耐海水腐蚀纳米复合CrAlBCN涂层，其特征在于，所述纳米复合CrAlBCN涂层包括在基底上依次沉积的Al金属结合层、AlCN过渡层和权利要求1~2任一项所述CrAlBCN涂层。
4.根据权利要求3所述纳米复合CrAlBCN涂层，其特征在于，所述Al金属结合层的厚度为50~200nm。
5.根据权利要求3所述纳米复合CrAlBCN涂层，其特征在于，所述AlCN过渡层的厚度为100~300nm。
6.根据权利要求3所述纳米复合CrAlBCN涂层，其特征在于，所述CrAlBCN涂层的厚度为2~6μm。
7.权利要求3~6任一所述纳米复合CrAlBCN涂层的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：
S1：在基底上沉积Al金属结合层；
S2：通入Ar、C2H2和N2，在Al金属结合层上制备得到AlCN过渡层；所述C2H2和N2之和与Ar的体积比为1~5:1；所述C2H2和N2的体积比为1:3~4；
S3：打开高功率脉冲磁控溅射靶CrB2和中频磁控溅射Al靶，通入Ar、C2H2和N2，沉积得到CrAlBCN涂层，即得纳米复合CrAlBCN涂层；所述C2H2和N2之和与Ar的体积比为1~4:1；所述C2H2和N2的体积比为1:2~5；
其中，S2和S3中利用阳极层离子源技术分别制备得到AlCN过渡层和CrAlBCN涂层。
8.权利要求3~6任一所述纳米复合CrAlBCN涂层在海洋环境表面防护中的应用。
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