[发明专利]一种高强韧性、低电阻率的银金合金键合丝

权利要求书

1.一种高强韧性、低电阻率的银金合金键合丝，其特征在于，该合金键合丝各组分按重量百分含量为：Ag：80%≤Ag＜100.0%，Au：0%＜Au≤ 20.0%，Ce：0.005%～0. 01%，添加总含量为0%＜～≤0.01%的微量的Cu、Pd、Be、Mg、Ca一种或几种，合金键合丝的断裂载荷大于10cN，伸长率大于18%，电阻率小于1.8μΩ•cm；该合金键合丝按照以下方法制得：

1）高真空中频感应熔炼：

将Au和小于Ag总量的二分之一Ag置于高真空中高频熔炼炉中熔炼，熔炼温度为1100～1300℃，高纯氩气保护， 10-30min精炼、冷却，得到合金铸锭；加工成Ag/Au母合金板材，清洗；

2）高真空连铸熔炼：

取少量银块，将添加组份放在银块上，银块机械折叠成块状，将添加组份包裹在银块中，余量的银压成块，按照银—Ag/Au母合金—银—包裹物—Ag/Au母合金的顺序放置，于高真空连铸机中进行熔炼，条件：真空度为1×10^-2～1×10^-3Pa，充入高纯氩气，熔炼温度为1100～1300℃，完全熔化后，经10-40min精炼，搅拌均匀后拉制成6-10mm的合金杆材；

3）丝材加工：

合金杆材在拉丝机上进行粗拉、中拉、细拉及微细拉制，加工变形量分别是：≤20%、≤15%、≤10%、≤5%；拉制成直径Φ25μm以下的银金合金键合丝；

4）连续清洗、连续退火：

键合丝经连续超声波清洗机进行去污、去杂质表面清洗，在保护性气体下连续退火，退火温度为200℃～500℃，退火速度为20～100m/min。

2.根据权利要求1所述的银金合金键合丝，其特征在于：所述合金键合丝各组分按重量百分含量为：Ag含量为99.4%，Ce含量为0.005%，Cu含量为0.001%，其余为Au。

3.根据权利要求1-2任一所述的银金合金键合丝，其特征在于：所述的合金键合丝中金纯度为≥99.995%，银纯度为≥99.999%，其他元素纯度≥99.99%。