[发明专利]压电装置

说明书

本发明提供一种压电装置，可以降低制造成本，防止导电性接着剂蔓延至压电振动片的下表面的激励电极。压电装置(PD)包括：压电振动片(40)，包含激励电极及从所述激励电极引出的引出电极；陶瓷制的底座(10)，俯视时呈长方形，包含从底面起具有锥角而形成的壁面；连接凸块(CB)，形成于底面，对压电振动片施加电压；以及阶差部(19)，在长方形的长边方向上靠近连接凸块，与底座形成为一体。而且，引出电极与连接凸块(CB)通过导电性接着剂(EA)而连接，压电振动片与阶差部相接，压电振动片并以悬臂状态相对于底面而倾斜地受到支撑。

技术领域

本发明涉及一种悬臂压电装置。

背景技术

例如，有专利文献1所公开的压电装置。在所述压电装置中，使多块陶瓷坯体(ceramic green body)的平板(一般被称为坯片(green sheet))重叠，而形成具有凹部的陶瓷制的底座(base)。并且，在所述底座的凹部内，通过导电性接着剂而固定着压电振动片的引出电极。关于所述压电振动片的一端，为了防止另一端与底面相接，将压电振动片的一端倾斜地形成得较厚，以抬起另一端。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]：日本专利特开2015-106792号公报。

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，使多块平板重叠的陶瓷制的底座，由于有平板的重叠作业等，所以存在成本升高的倾向。为了抬起另一端而将压电振动片的一端倾斜地形成得较厚，也存在成本升高的问题。

本申请是鉴于如上所述的情况而完成的，旨在提供一种能够解决所述问题的压电装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的实施形态的压电装置包括：压电振动片，包含激励电极及从所述激励电极引出的引出电极；陶瓷制的底座，俯视时呈长方形，包含从底面起具有锥角而形成的壁面；连接凸块，形成于底面，对压电振动片施加电压；以及阶差部，在长方形的长边方向上靠近连接凸块，与底座形成为一体。而且，引出电极与连接凸块通过导电性接着剂而连接，压电振动片与阶差部相接，压电振动片并以悬臂状态相对于底面而倾斜地受到支撑。

并且，连接凸块形成在低于底面的面上，阶差部形成得与底面齐平或者比底面高。

并且，也可以将连接凸块形成得与底面齐平，将阶差部形成得比底面高。

此外，也可以是底面包含：从底面向长方形的长边方向倾斜的倾斜面，连接凸块及阶差部形成于倾斜面上。

进而包含配线电极，所述配线电极是从倾斜面与底面无阶差地相连的区域起，从连接凸块延伸。

[发明的效果]

本公开的压电装置可以降低制造成本。

附图说明

图1A是第一实施方式的压电装置PD的盖体(lid)20的立体图。

图1B是所述压电装置PD的底座10的立体图。

图1C是图1A及图1B的IC-IC剖面图。

图2A是实施方式的压电振动片40的俯视图。

图2B是所述压电振动片40的剖面图。

图3A是说明第一例的底座以及阶差部的剖面图。

图3B是说明第二例的底座以及阶差部的剖面图。

图4A是说明第三例的底座以及阶差部的剖面图。

图4B是说明第四例的底座以及阶差部的剖面图。