[发明专利]电感器部件及其制造方法

说明书

本发明涉及能够提高线圈特性的电感器部件。电感器部件的制造方法具有：准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；涂覆绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；在利用掩模对第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下曝光第一绝缘层的工序；除去第一绝缘层的第一部分来在与第一部分对应的位置形成槽的工序；在槽内涂覆导电膏来在槽内形成线圈导体层的工序；以及在第一绝缘层上以及线圈导体层上涂覆绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。

技术领域

本发明涉及电感器部件及其制造方法。

背景技术

以往，作为电感器部件，存在日本特开2014-207280号公报(专利文献1)所记载的电感器部件。电感器部件具有包括玻璃材料的基体和设置于基体内的线圈。基体包括多个绝缘层。线圈包括在绝缘层上平面卷绕的线圈导体层。

专利文献1：日本特开2014-207280号公报

然而，在上述现有的电感器部件中，由于线圈导体层的纵横比很小，所以无法增大线圈导体层的截面积，无法增多流过线圈的电流。鉴于此，为了增大纵横比而使两层的线圈导体层面接触。

但是，由于使两层的线圈导体层面接触，所以在面接触的两层线圈导体层的侧面形成有多个突起，由于该多个突起导致了线圈特性降低。

这里，本申请的发明人着眼于在现有的电感器部件的制造方法中，由于通过光刻法在绝缘层形成槽，并在该槽内形成线圈导体层，所以通过将槽形成得很深来增大线圈导体层的纵横比。

然而，本申请的发明人发现了在现有的制造方法中存在以下问题。即，绝缘层除了包括玻璃材料之外，为了确保强度还包括由氧化铝构成的填充材料。由于填充材料的氧化铝的折射率很高，所以在对负型的感光性的绝缘层进行曝光来形成槽时，曝光所使用的光在绝缘层内散射，无法将光照射至绝缘层内的更深的部分。因此，槽很浅，难以形成纵横比很大的线圈导体层。

发明内容

鉴于此，本发明的课题在于，提供能够提高线圈特性的电感器部件及其制造方法。

为了解决上述课题，本发明的电感器部件的制造方法具备：

准备包括由石英构成的填充材料、玻璃材料以及树脂材料的感光性的绝缘膏和导电膏的工序；

涂覆上述绝缘膏来形成第一绝缘层的工序；

在利用掩模对上述第一绝缘层的第一部分进行了遮光的状态下对上述第一绝缘层进行曝光的工序；

将上述第一绝缘层的上述第一部分除去来在与上述第一部分对应的位置形成槽的工序；

在上述槽内涂覆上述导电膏来在上述槽内形成线圈导体层的工序；以及

在上述第一绝缘层上以及上述线圈导体层上涂覆上述绝缘膏来形成第二绝缘层的工序。

根据本发明的电感器部件的制造方法，由于使用包括由石英构成的填充材料和玻璃材料的绝缘膏，所以能够使填充材料与玻璃材料的折射率近似。由此，在通过曝光对第一绝缘层形成槽时，能够防止曝光所使用的光在第一绝缘层内散射，能够将光照射至第一绝缘层内的更深的部分。由此，能够增大线圈导体层的纵横比，能够增大线圈导体层的截面积。因此，不需要使多个线圈导体层面接触来进行层叠，能够将线圈导体层的侧面的形状形成得圆滑，因而能够进一步提高Q值，能够提高线圈特性。

另外，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，在上述曝光工序中，利用不包括350nm以下的波长的光来进行曝光。

根据上述实施方式，由于利用不包括350nm以下的波长的光来进行曝光，所以能够去掉容易散射的短波长，能够进一步可靠地形成深的槽。

另外，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，在上述第二绝缘层的形成工序之后，利用800℃以上1000℃以下的温度进行烧制。