[发明专利]可升降式精馏塔六氟化硫气体回收净化设备及方法

权利要求书

1.可升降式精馏塔六氟化硫气体回收净化设备，其特征在于：包括原料气体进口接头、过滤吸附装置、压缩机、制冷机组、第一精馏塔、第二精馏塔、液压顶升装置、第一尾气处理器、第二尾气处理器和增压机；

原料气体进口接头通过第一混合气管与过滤吸附装置的进口连接，过滤吸附装置的出口通过第二混合气管与压缩机的进口连接，压缩机的出口通过第三混合气管与第一精馏塔的混合气进口连接；

第一精馏塔和第二精馏塔左右紧邻且并排设置，液压顶升装置设置在第一精馏塔和第二精馏塔之间，第一精馏塔和第二精馏塔均包括固定的塔体部和活动的伸缩部，伸缩部的下部伸入到塔体部内，伸缩部下部与塔体部滑动密封连接，第一精馏塔的伸缩部的上端与第二精馏塔的伸缩部的上端之间通过连接架连接，液压顶升装置的驱动端与连接架下部连接；

制冷机组通过第一制冷管道与第一精馏塔的伸缩部连接，制冷机组通过第二制冷管道与第二精馏塔的伸缩部连接；

第一尾气处理器设置在连接架上，第一精馏塔的伸缩部的顶部通过第一尾气排放管与第一尾气处理器的进口连接；

第二精馏塔的塔体部的底部通过第二尾气排放管与第二尾气处理器的进口连接；

第一精馏塔的塔体部的底部与第二精馏塔的塔体部的底部之间通过液体管道连接；

增压机的进气口分别通过第一净化气体管道和第二净化气体管道与第一精馏塔的塔体部和第二精馏塔的塔体部连接，增压机的出气口连接有六氟化硫气体充气管道。

2.根据权利要求1所述的可升降式精馏塔六氟化硫气体回收净化设备，其特征在于：第三混合气管上设置有第一电磁阀，第一净化气体管道上设置有第二电磁阀，液体管道上设置有第三电磁阀，第二尾气排放管上设置有第四电磁阀，第二净化气体管道上设置有第五电磁阀，六氟化硫气体充气管道上设置有第六电磁阀，第一尾气排放管上设置有第七电磁阀。

3.根据权利要求2所述的可升降式精馏塔六氟化硫气体回收净化设备，其特征在于：第一制冷管道上设置有第一制冷电磁阀，第二制冷管道上设置有第二制冷电磁阀。

4.采用权利要求3所述的可升降式精馏塔六氟化硫气体回收净化设备的回收净化方法，其特征在于：包括以下步骤；

（1）、首先启动液压顶升装置通过连接架驱动第一精馏塔的伸缩部和第二精馏塔的伸缩部向上升起，升起高度为1.5m，此时第一精馏塔和第二精馏塔的整体高度为3m，以便于特殊杂质C₂F₆和C₃F₈的去除；

（2）、开启第一电磁阀，SF₆废气由原料气体进口接头进入，经第一混合气管进入到过滤吸附装置，将SF₆废气中的SF₆分解产物、金属絮状物、水分、粉尘吸附并过滤，然后经第二混合气管后通过压缩机的压缩驱动再经第三混合气管进入第一精馏塔内部；

（3）、SF₆废气回收至第一精馏塔后，启动制冷机组，开启第一制冷电磁阀，对第一精馏塔内气体介质进行低温精馏处理，根据SF₆气体与AIR、CF₄、CO₂、C₂F₆气体的沸点以及密度的区别，可将第一精馏塔内SF₆废气中的AIR、CF₄、CO₂、C₂F₆气体分离排放，通过第七电磁阀将排放的废气通过第一尾气处理器处理后，无毒化排放，第一精馏塔低温精馏提纯结束，关闭制冷机组以及第一制冷电磁阀；

（4）、在第一精馏塔中将SF₆废气精馏提纯后，开启第三电磁阀，将第一精馏塔的塔体底部的SF₆液体输送至第二精馏塔中，然后启动制冷机组，开启第二制冷电磁阀，对第二精馏塔内的SF₆气体提纯，根据SF₆气体与C₃F₈气体的沸点以及密度的区分，将SF₆气体与C₃F₈气体分离，并将C₃F₈气体通过第二精馏塔底部的第四电磁阀将排放的废气通过第二尾气处理器后，无毒化排放，第二精馏塔低温精馏提纯结束后，关闭制冷机组以及第二制冷电磁阀；

（5）、最后将六氟化硫气体充气管道连接压力容器，打开第二电磁阀、第五电磁阀和第六电磁阀，开启增压机，通过第一精馏塔和第二精馏塔内的净化合格的SF6气体经过增压机的增压，通过六氟化硫气体充气管道储存至压力容器中。