[发明专利]一种高精度XY移动平台及其实现方法

权利要求书

1.一种高精度XY移动平台，其特征在于，包括：X轴驱动机构和Y轴驱动机构；

所述Y轴驱动机构包括：Y轴导轨和滑块；所述X轴驱动机构包括：Y轴底座和X轴导轨；

所述Y轴驱动机构设置在所述X轴驱动机构上方，所述X轴驱动机构驱动所述Y轴驱动机构带动所述滑块运动；

所述Y轴驱动机构还包括：

设置在所述Y轴导轨上方的第一驱动部件和第二驱动部件；所述第一驱动部件驱动所述滑块运动与第二驱动部件驱动所述滑块运动同向不同力；

当第一驱动部件驱动滑块在第一方向运动时，此时第一驱动部件的驱动力为主驱动力，第二驱动部件的驱动力为副驱动力，主驱动力大于副驱动，副驱动为可调负载；

且所述第一驱动部件在驱动滑块运动到Y轴导轨的终点后，采用第一驱动部件的阻抗并由第二驱动部件驱动消除空回，然后再由第二驱动部件驱动所述滑块运动；

在第一滑动轨道转换到第二个滑动轨道运动之前，通过第一个驱动部件的阻抗及第二个驱动部件驱动消除第一驱动部件驱动运动中产生的空回；在第二个滑动轨道开启运动之前，并在第二个滑动轨道精确定位后，开始第二驱动部件的驱动运动；

当所述第一驱动部件的驱动力为主驱动力驱动滑块滑动在第一方向时，所述滑块在所述导轨上运动的轨道为第一滑动轨道；当所述第二驱动部件的驱动力为主驱动力驱动滑块滑动在与第一方向相反的方向运动时，所述滑块在所述导轨上运动的轨道为第二滑动轨道；

所述X轴驱动机构包括：

设置在所述X轴导轨上方的第三驱动部件和第四驱动部件；所述第三驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动与第四驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动同向不同力。

2.根据权利要求1所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第一驱动部件包括：设置在所述Y轴导轨上的第一丝杆和设置在所述第一丝杆一端侧的第一驱动电机；

所述第二驱动部件包括：设置在所述Y轴导轨上的第二丝杆和设置在所述第二丝杆一端侧的第二驱动电机；

所述第一驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第一工位时，驱动所述第一丝杆运动；

所述第二驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第二工位时，驱动所述第二丝杆运动；

所述第一驱动电机带动第一丝杆运动与第二驱动电机驱动第二丝杆运动同向不同力。

3.根据权利要求2所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第一丝杆与第二丝杆并排设置。

4.根据权利要求3所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第三驱动部件包括：设置在所述X轴导轨上的第三丝杆和设置在所述第三丝杆一端侧的第三驱动电机；

所述第四驱动部件包括：设置在所述X轴导轨上的第四丝杆和设置在所述第四丝杆一端侧的第四驱动电机；

所述第三驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第三工位时，驱动所述第三丝杆运动；

所述第四驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第四工位时，驱动所述第四丝杆运动；

所述第三驱动电机驱动第三丝杆运动与第四驱动电机驱动第四丝杆运动同向不同力。

5.根据权利要求4所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第三丝杆与第四丝杆并排设置。

6.根据权利要求5所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第一驱动电机和第二驱动电机分别设置在第一丝杆和第二丝杆的两端；或者所述第一驱动电机和第二驱动电机均设置在第一丝杆和第二丝杆的相同一端。

7.根据权利要求6所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述第三驱动电机和第四驱动电机分别设置在第三丝杆和第四丝杆的两端；或者所述第三驱动电机和第四驱动电机均设置在第三丝杆和第四丝杆的相同一端。

8.根据权利要求2所述的高精度XY移动平台，其特征在于，所述滑块还包括：顶板、分别套设在第一丝杆和第二丝杆上的第一定位块和第二定位块，以及位于第一定位块下方的第一滑动块和位于第二定位块下方的第二滑动块。