[发明专利]基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法

说明书

提供了一种基板检查系统。所述基板检查系统包括：浮动单元，被配置为浮动基板；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方并且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及照明单元，被配置为产生光。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年9月26日提交的韩国专利申请No.10-2017-0124464的优先权，其全部公开内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明构思的示例性实施例涉及一种握持装置和包括握持装置的基板检查系统，以及一种使用基板检查系统制造半导体器件的方法。

背景技术

随着半导体工艺变得更加复杂，对半导体器件上产生的颗粒进行检查的重要性正在增加。对半导体基板上的颗粒的检查并且减少颗粒可以改善半导体器件的可靠性并且可以提高工艺产量。光学装置可用于检查半导体基板上的颗粒。

发明内容

本发明构思的示例性实施例提供了一种用于减小或最小化基板的未检查区域的握持装置以及包括该握持装置的基板检查系统。

根据本发明构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；检查单元，布置在浮动单元上方；握持单元，布置在检查单元下方且包括被配置为将基板保持在浮动单元上的第一握持构件；握持传送单元，被配置为沿第一方向移动握持单元；以及被配置为产生光的照明单元。检查单元被配置为检查在浮动单元上浮动的基板，照明单元布置在握持单元的移动路径上，以使得由照明单元产生的光照射到检查单元上。第一握持构件包括被配置为吸附基板的第一吸附垫和支撑第一吸附垫的第一支撑构件，第一支撑构件包括第一开口，照明单元插入第一开口中。

根据本发明构思的示例性实施例，一种基板检查系统包括：浮动单元，被配置为使基板浮动；握持单元，被配置为将基板保持在浮动单元上；第一照明构件，布置在第一握持构件和第二握持构件之间；以及握持传送单元，被配置为移动握持单元。握持单元包括：彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件；以及被配置为将光照射到基板上的第一照明构件。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，被配置为吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离第一照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。

根据本发明构思的示例性实施例，一种握持装置，包括：托盘、布置在托盘上的第一握持构件，以及布置在托盘上并沿第一方向与第一握持构件间隔开的第二握持构件。第一握持构件包括第一支撑构件，第一支撑构件包括：与托盘间隔开的第一支撑板、将第一支撑板连接到托盘的第一支撑架、第一开口和第一吸附垫。第一开口沿第一方向在第一支撑板的第一侧表面和第一支撑架的内表面之间延伸。第一侧表面面对第二握持构件。第一吸附垫布置在第一支撑板上并且被配置为吸附基板，并且与第一侧表面相邻。

根据本发明构思的示例性实施例，一种制造半导体器件的方法，包括：使用基板形成半导体器件，并且使用根据上述任一实施例的基板检查系统测试基板。使用基板检查系统测试所述基板包括：使用基板检查系统的浮动单元使基板浮动；使用基板检查系统的握持单元将基板保持在浮动单元上。握持单元包括彼此间隔开的第一握持构件和第二握持构件。测试所述基板还包括：由基板检查系统的握持传送单元移动握持单元，以及由布置在第一握持构件和第二握持构件之间的照明构件产生光。光照射到基板上。测试所述基板还包括：由基板检查系统的检查单元检查在浮动单元上浮动的基板。光穿过基板照射到检查单元上，并且检查单元使用照射到检查单元上的光来检查基板。第一握持构件和第二握持构件中的每一个均包括：吸附垫，吸附所述基板；支撑架，布置在吸附垫下方并且沿远离照明构件的方向与吸附垫间隔开；以及支撑板，将吸附垫连接到支撑架。