[发明专利]一种柔性衬底与载体基板的连接方法及柔性显示面板在审
| 申请号： | 201811066949.6 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109216546A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 杨艳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;G09F9/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载体基板 衬底 柔性显示面板 极性基团 键合连接 改性层 连接层 悬挂键 表面沉积 表面形成 连接方便 显示设备 贴合 制作 | ||
1.一种柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，包括：
在柔性衬底的一侧表面形成包括极性基团的改性层；
在载体基板一侧表面沉积包括悬挂键的连接层；
将所述柔性衬底与所述载体基板贴合使得所述改性层的极性基团与所述连接层的悬挂键键合连接。
2.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，将所述柔性衬底与所述载体基板贴合时，采用机械贴合的方式。
3.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，在所述柔性衬底的一侧表面形成包括极性基团的改性层，包括：
对所述柔性衬底的一侧表面进行等离子体处理以形成包括极性基团的改性层。
4.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，所述极性基团包括-NH2、-COOH或-OH。
5.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，所述在载体基板一侧表面沉积包括悬挂键的连接层，包括：
在所述载体基板的一侧表面沉积非晶硅以形成所述连接层，所述非晶硅的表面形成有悬挂键。
6.根据权利要求5所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，沉积非晶硅的方法为气相沉积法。
7.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，所述柔性衬底由聚酰亚胺膜制成。
8.根据权利要求7所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，所述聚酰亚胺膜的厚度10um～40um。
9.根据权利要求1所述的柔性衬底与载体基板的连接方法，其特征在于，所述载体基板由玻璃材料制成。
10.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，包括：
将所述柔性衬底的一侧表面通过如权利要求1-9任一项所述的柔性衬底与载体基板的连接方法与载体基板连接；
在所述柔性衬底背离所述载体基板的一侧制作显示器件；
将所述柔性衬底与所述载体基板剥离。
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