[发明专利]光纤预制多孔体的沉积方法及装置在审
| 申请号： | 201811050405.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN108793722A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 许松松;吕岩;蒋尊标;郭璞;钱亮;胡付俭;田国才 | 申请（专利权）人： | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 刘彦 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多孔体 预制多孔体 中心偏离 监测点 光纤 喷灯 沉积 沉积方法及装置 沉积装置 数据调节 一致性好 同心度 芯包 纠正 | ||
1.一种光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，包括步骤X；所述步骤X包括：
获取多孔体在监测点处的中心偏离数据；
基于所述中心偏离数据，调节监测点处的喷灯热量、或调节多孔体的转速。
2.根据权利要求1所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，根据如下公式计算Q，然后调节监测点处的喷灯热量至Q：
Q＝△P/m+Q0
其中，△P代表多孔体在监测点处的中心偏离值；Q0代表监测点处的喷灯的初始热量；m的取值范围为0.015mm·min/L～1mm·min/L。
3.根据权利要求1所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，根据如下公式计算V，然后调节多孔体的转速至V：
V＝△P*/n+V0；
其中，△P*代表多孔体在所有监测点处的中心偏离值的平均值；V0代表多孔体的初始转速；n的取值范围为0.025mm·min/r～0.2mm·min/r。
4.根据权利要求1所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，所述监测点沿多孔体的轴向均匀分布。
5.根据权利要求4所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，所述监测点的个数为10～30个。
6.根据权利要求1所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，当多孔体的直径小于等于80mm时，每隔15min执行一次步骤X；当多孔体的直径大于80mm时，每隔30min执行一次步骤X。
7.根据权利要求1所述的光纤预制多孔体的沉积方法，其特征在于，当检测到中心偏离大于1mm，停止沉积。
8.一种光纤预制多孔体的沉积装置，其特征在于，包括：
喷灯，用于向靶棒沉积二氧化硅粉尘；
靶棒驱动机构，用于驱动靶棒沿其轴心线旋转；
检测机构，用于检测多孔体的中心偏离数据；
以及控制单元，基于所述中心偏离数据调节所述喷灯的热量或多孔体的转速。
9.根据权利要求8所述的光纤预制多孔体的沉积装置，其特征在于，所述检测机构包括测径组件、以及驱动所述测径单元沿平行于靶棒的轴心线的方向移动的测径移动组件。
10.根据权利要求9所述的光纤预制多孔体的沉积装置，其特征在于，所述测径组件包括用于测量多孔体在第一方向上的中心点位置的第一测径仪、以及用于测量多孔体在第二方向上的中心点位置的第二测径仪；
所述第一方向、所述第二方向、与靶棒的轴心线两两垂直。
11.根据权利要求10所述的光纤预制多孔体的沉积装置，其特征在于，所述第一测径仪、以及所述第二测径仪为像素测径仪。
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