[发明专利]一种脱氧高纯水制备装置及工艺

权利要求书

1.一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：至少包括一台脱氧塔（10），所述脱氧塔（10）上部设有脱盐水进料管线（1）和放空管线（3）；中部通过转子流量计（7）和管件阀门与低压氮气进料管线（13）连接；下部有管线连接水泵（15）；脱氧塔（10）下端两侧有远程液位计（9）和现场磁翻板液位计（12）；放空管线（3）通过管线连接在脱氧塔（10）的顶部；脱盐水进料管线（1）通过调节阀（2）的端部与脱氧塔（10）的顶部管线连接；所述水泵（15）入口通过管线阀门与脱氧塔（10）的底部管线连接；所述水泵（15）出口设有出料管线（16）连接脱氧高纯水使用单元（17）；所述脱盐水进料管线（1）调节阀（2）与远程液位计（9）之间有液位联锁（8），可自动调节液位，实现液位自动调节，快速、便利制备脱氧高纯水。

2.根据权利要求1所述的一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：所述脱氧塔（10）上部窄，布置一层鲍尔环散装填料（6）；下部宽，下部存放液体起到缓冲罐的作用。

3.根据权利要求1所述的一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：所述脱氧塔（10）上部内设有喷射式液体分布器（5）。

4.根据权利要求1所述的一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：所述水泵（15）出口设有最小回流管线（11）返回脱氧塔（10）。

5.根据权利要求1所述的一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：所述水泵（15）入口设有篮式过滤器（14）。

6.根据权利要求3所述的一种脱氧高纯水制备装置，其特征在于：所述喷射式液体分布器（5）是由6喷头（4-1）和串联十字管架（4-2）组成，6喷头（4-1）分布在串联十字管架（4-2）上。

7.一种脱氧高纯水制备工艺：其特征在于：至少包括一台脱氧塔，所述脱氧塔上部设有脱盐水进料管线和放空管线；中部通过转子流量计和管件阀门与低压氮气进料管线连接；下部有管线连接水泵；脱氧塔下端两侧有远程液位计和现场磁翻板液位计；放空管线通过管线连接在脱氧塔的顶部；脱盐水进料管线通过调节阀的端部与脱氧塔的顶部管线连接；所述水泵入口通过管线阀门与脱氧塔的底部管线连接；所述水泵出口设有出料管线连接脱氧高纯水使用单元；所述脱盐水进料管线调节阀与远程液位计之间有液位联锁；所述脱氧塔上部窄，布置一层鲍尔环散装填料；下部宽，下部存放液体起到缓冲罐的作用；所述脱氧塔上部内设有喷射式液体分布器；所述水泵出口设有最小回流管线返回脱氧塔；所述水泵入口设有篮式过滤器；脱盐水经脱盐水进料管线由调节阀控制流量后进入脱氧塔上部，经喷射式液体分布器均匀喷雾后向下流动；低压氮气经低压氮气管线由转子流量计控制流量后进入脱氧塔中部，向上流动，气液两相在鲍尔环散装填料中充分接触，氮气带出氧气经放空管线放空；脱氧的脱盐水在脱氧塔下部保留一定液位经篮式过滤器过滤掉灰尘等杂质由水泵经出料管线送入需要的使用单元；初始开车时出料走最小回流管线，待脱氧合格后，切换出料。

8.根据权利要求7所述的一种脱氧高纯水制备工艺，其特征在于：所述的远程液位计与调节阀挂液位联锁，自动调节液位。

9.根据权利要求7所述的一种脱氧高纯水制备工艺，其特征在于：所述的现场磁翻板液位计可用于初始液位校对或远程液位计故障时观测液位。