[发明专利]表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法

说明书

本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法，其中该表面检查装置包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年11月8日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0148253号韩国专利申请的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。

技术领域

本发明构思的示例性实施例涉及一种表面检查装置，以及表面检查方法、制造显示设备的方法。

背景技术

最近已经越来越多的使用了诸如有机发光二极管(OLED)显示器、液晶显示器(LCD)、电泳显示器(EPD)和等离子显示板(PDP)的平板显示设备。这些平板显示设备可以实现为柔性显示设备。

柔性基板可以用于实现柔性显示设备。各种类型的异物可能沉积在这些柔性基板上，并且在制造或处理工艺中可能在这些柔性基板的表面中形成缺陷。

发明内容

本发明构思的示例性实施例提供了一种有效地检查物体(例如弯曲的膜/基板)的表面的表面检查装置。

根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查装置，包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。

根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查装置，包括：具有开口的反射器，以及设置在所述反射器的下方的光源。所述光源在水平方向上辐射光。所述表面检查装置还包括设置在所述光源的一侧的半透半反镜。所述半透半反镜将由所述光源辐射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通过所述开口入射到设置在所述反射器的上方的待检查物体的表面。所述表面检查装置还包括设置在所述反射器的下方的第一相机。所述第一相机接收从所述待检查物体的表面反射的光。所述待检查物体、所述开口和所述半透半反镜设置在所述第一相机的光轴上。

根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查方法，包括：将具有曲面的待检查物体安装在表面检查装置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。所述方法还包括向所述待检查物体的所述曲面上辐射光。所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述待检查物体的所述曲面。所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的第一相机的光轴上。所述方法还包括获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息，以及使用所述表面检查装置的所述第一相机拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像。

根据本发明构思的示例性实施例，一种制造显示设备的方法，包括：形成包括基板的所述显示设备，以及检查所述基板。检查所述基板包括将所述基板安装在表面检查装置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述基板的反射凹面。检查所述基板还包括向所述基板辐射光。所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述基板。所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的相机的光轴上。检查所述基板还包括获得与所述基板的位置有关的信息，以及使用所述表面检查装置的所述相机拍摄所述基板的图像。

附图说明

通过参考附图详细描述示例性实施例，本发明构思的上述和其他特征将变得显而易见，其中：