[发明专利]分配阀设备

说明书

本发明提供了一种在分配速率上具有较小波动的分配阀设备。分配阀设备是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的拉伸弹性模量的材料制成。可替代地，分配阀设备是是通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔断流体的分配阀设备，其特征在于阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的压缩弹性模量的材料制成。

相关申请的交叉引用

该非临时申请根据35 U.S.C§119(a)要求2017年9月27日提交的日本专利申请No.2017-185770的优先权，其全部内容通过引用方式并入本文。

技术领域

本发明涉及一种用于排出液体的分配阀设备。

背景技术

以恒定速率供应诸如水、油、树脂等液体的分配器用于多种领域，包括半导体工艺、医疗领域等。关于半导体工艺，许多分配器用于底部填充工艺。许多分配器也用于在半导体器件包的内部填充树脂。此外，关于LED元件制造工艺，分配器用在对LED芯片涂覆由混合荧光材料和树脂获得的荧光液体的过程中。在这种分配器中，分配阀设备用作响应于溶液的供应而将恒定量的溶液分配到精确位置的核心设备(参见，例如，JP2015-182043A)。

发明内容

本发明要解决的问题

即使使用能够以高精度并以恒定速率分配液体的固定分配阀设备，在阀设备关闭一段时间之后进行分配时，往往分配比设定液体量更大量的液体。可以认为，这是因为当分配阀设备关断液体时，不锈钢阀构件以较大的力压在阀构件座上，以防止液体泄漏，从而阀构件座的与阀构件接触的部分稍微弹性地变形并且变得凹陷，因此在随后的分配中液体流动路径变得比设定的液体路径宽出所述凹陷的程度。更具体地，通常，在液体分配状态下，如图2A所示，在阀构件座12和阀构件11之间形成具有预定宽度的流动路径，如图2B所示，在关断状态下，阀构件11保持压靠在阀构件座12上。然后，在关断状态一段时间之后转换到液体分配状态之后紧接下来的状态下，阀构件座12的与阀构件11接触的部分12a弹性变形，如图2C所示。在弹性变形的恢复时间期间，路径流具有比预定宽度更宽的宽度，因此，分配比期望量更大量的液体。

当通过减小阀构件的提升量来设定高进给压力以使液体流动路径变窄时，阀构件座的变形量与液体流动路径的闸口宽度的比例变大，并且因此液体量波动往往变大。另一方面，当通过增加阀构件的提升量来设定低进给压力以加宽液体流动路径时，阀构件移动的量变大，因此在液体流动路径中存在更高的气体夹杂物的风险。因此，在初始分配阶段期间需要初步分配操作以执行精确分配。然而，这降低了可操作性并且浪费了所分配的材料。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种在分配速率上具有较小波动的分配阀设备。

解决问题的手段

作为本发明人进行认真研究的结果，已经发现的是，特别是在初始分配阶段期间，例如恢复液体分配时，通过使用难以弹性变形的材料用于阀构件座材料使得压靠阀构件的阀构件座的变形程度小，可以抑制分配速率的波动。

更具体地，提供以下分配阀设备：

[1]一种通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔离流体的分配阀设备，其特征在于，阀构件座的与阀构件接触的部分由具有2GPa或更大的拉伸弹性模量的材料制成。

[2]一种通过阀构件和阀构件座彼此接触而隔离流体的分配阀设备，其特征在于，与阀构件接触的阀构件座的一部分由具有2GPa或更大的压缩弹性模量的材料制成。

[3]根据[1]或[2]所述的分配阀设备，其特征在于，所述阀构件是针阀构件。

[4]根据[1]至[3]中任一项所述的分配阀设备，其特征在于，所述分配阀设备是固定分配阀设备。