[发明专利]显示装置

说明书

提供了一种显示装置。所述显示装置包括：基底；第一晶体管和第二晶体管，设置在基底上以彼此间隔开；以及显示单元，电连接到第一晶体管，其中，第一晶体管包括含有晶体硅的第一半导体层、第一栅电极、第一源电极和第一漏电极，其中，第二晶体管包括含有氧化物半导体的第二半导体层、第二栅电极、第二源电极和第二漏电极，并且其中，第二栅电极包括：第一层，设置在绝缘层上并包括钼；第二层，设置在第一层上并包括钛；以及第三层，设置在第二层上并包括钼。

于2017年9月8日在韩国知识产权局提交的且发明名称为“Display Device,Manufacturing Method of Display Device,and Electrode Forming Method”的第10-2017-0115077号韩国专利申请通过引用其全部内容而被包含于此。

技术领域

实施例涉及一种显示装置、一种显示装置的制造方法和一种电极形成方法。

背景技术

显示装置因其重量轻和厚度薄而已成为焦点。在显示装置之中，有机发光显示装置是利用发射光的有机发光二极管来显示图像的自发光显示装置，而不需要任何单独的光源。此外，有机发光显示装置具有低功耗、高亮度和高响应速率，因此其已作为下一代显示装置而受到关注。

有机发光显示装置包括多个像素，多个像素中的每个包括有机发光二极管、用于驱动有机发光二极管的多个晶体管以及至少一个电容器。

发明内容

实施例针对一种显示装置，该显示装置包括：基底；第一晶体管和第二晶体管，设置在基底上以彼此间隔开；以及显示单元，电连接到第一晶体管，其中，第一晶体管包括含有晶体硅的第一半导体层、第一栅电极、第一源电极和第一漏电极，其中，第二晶体管包括含有氧化物半导体的第二半导体层、第二栅电极、第二源电极和第二漏电极，并且其中，第二栅电极包括：第一层，设置在绝缘层上并包括钼；第二层，设置在第一层上并包括钛；以及第三层，设置在第二层上并包括钼。

该显示装置还可以包括：第一绝缘层，设置在第一栅电极与第一半导体层之间；第二绝缘层，设置在第一栅电极上方；以及第三绝缘层，设置在第二栅电极与第二半导体层之间。绝缘层可以是第二绝缘层和第三绝缘层中的一者。

第二栅电极可以设置在第三绝缘层上。

该显示装置还可以包括：电容器电极，设置在第二绝缘层上；以及第四绝缘层，覆盖电容器电极，第四绝缘层设置在第二绝缘层与第二半导体层之间。

从第一栅电极和电容器电极中选择的至少一者可以包括第一层、位于第一层上的第二层以及位于第二层上的第三层。

第二栅电极可以设置在第二绝缘层上，并且第二半导体层可以设置在第三绝缘层上。

该显示装置还可以包括设置在第二绝缘层上的电容器电极，电容器电极与第一栅电极叠置。

从第一栅电极和电容器电极中选择的至少一者可以包括第一层、位于第一层上的第二层以及位于第二层上的第三层。

第三层的厚度可以比第一层的厚度厚。

显示单元可以包括：第一电极，电连接到第一漏电极；第二电极，设置在第一电极上；以及发射层，设置在第一电极与第二电极之间。

实施例也针对一种制造显示装置的方法，该方法包括以下步骤：在基底上设置包括晶体硅的第一半导体层；在第一半导体层上方设置第一绝缘层；在第一绝缘层上设置第一栅电极；在第一栅电极上方设置第二绝缘层；在第二绝缘层上设置与第一栅电极间隔开的第二半导体层，第二半导体层包括氧化物半导体；在第二半导体上方设置第三绝缘层；以及在第三绝缘层上设置第二栅电极，其中，第二栅电极包括：第一层，设置在第三绝缘层上并包括钼；第二层，设置在第一层上并包括钛；以及第三层，设置在第二层上并包括钼，并且其中，设置第二栅电极的步骤包括：蚀刻第二层和第三层的第一蚀刻工艺；以及蚀刻第一层的第二蚀刻工艺。