[发明专利]一种纳米定位台高频增益补偿的方法有效

专利信息
申请号: 201811035831.7 申请日: 2018-09-06
公开(公告)号: CN109269530B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 贾静;任阔 申请(专利权)人: 三英精控(天津)科技有限公司
主分类号: G01D3/00 分类号: G01D3/00;G01D11/30;B25H1/14;B25H1/02
代理公司: 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 代理人: 王力强
地址: 301700 天津市武清区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 定位 高频 增益 补偿 方法
【说明书】:

发明提供一种纳米定位台高频增益补偿的方法,所述的方法包括使用激光机射出激光光束,将光束打在纳米定位台上,同时在电脑终端选择接收模式,接受激光光束的光信号,通过计算全息方法得到光束径向参数为零的光束全息图像,选择高频增益补偿模式计算用于对输入的超声图像数据进行高频增益补偿对的增益补偿参数。本发明的有益效果是设计合理,加工成本低,低噪声,带宽高,输出性能高,测量平台得到优化。

技术领域

本发明属于纳米测量领域,尤其是涉及一种纳米定位台高频增益补偿的方法。

背景技术

在现有的技术中,对于测量平台的增益补偿没有得到一个很好的处理,尤其是负反馈会造成输出端与接收端的自相矛盾,造成测量平台的损毁,以及测量平台在测量时由于需要搭载在不同的精密机器中,测量平台还需要重新定位,而且新机器对测量平台的增益补偿参数也需要重新确定,耗费大量的人力物力等技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种设计合理,加工成本低,低噪声,带宽高的增益补偿方法,尤其适合一种纳米定位台高频增益补偿的方法。

本发明的技术方案是:

提供一种纳米定位台高频增益补偿的方法,所述的方法包括:

(1)使用激光机射出激光光束,将光束打在纳米定位台上,同时在电脑终端选择接收模式,接受激光光束的光信号,通过计算全息方法得到光束径向参数为零的光束全息图像,选择高频增益补偿模式计算用于对输入的超声图像数据进行高频增益补偿的增益补偿参数;

(2)激光机设置在纳米定位台上,激光机上设置有三色透光圆形挡板,激光光束经过圆形挡板达到纳米定位台形成一个有色焦点区域,此焦点区域为有效区域,有效区域设置有近场光纤探针,在电脑终端上输入有效区域在高频增益补偿模式下各项参数;

(3)将有效区域划分成若干份有效子区域,在电脑终端上控制纳米定位台进行移动,同时使用三维扫描器对有效区域进行扫描,得到光束径向参数大于零的光束全息图像,判断图像上所有的有效子区域模块是否满足高频增益补偿的设定条件,将所有满足条件的有效子区域模块进行标记,记为Ⅰ区域,将所有不满足条件的有效子区域模块进行标记,记为Ⅱ区域;

(4)统计Ⅰ区域的各项参数,计算得出一个平均值a,统计Ⅱ区域的各项参数,计算得出一个平均值b,a与b做差所得到的数值记为纳米定位台的初始补偿参数,将此参数与电脑终端所设置的数值进行对比,差值为正确的补偿参数;

(5)输入步骤(4)最后得出的正确的补偿参数,将纳米定位台向反方向移动,重新执行步骤(2)(3)(4),即可将纳米定位台定位准确,得到任意位置的高频增益补偿的参数。

进一步地,将光束径向参数为零的光束全息图像与光束径向参数大于零的光束全息图像进行比较即可得到有效子区域的划分数。

进一步地,所述的纳米定位台可选用任意型号。

进一步地,所述的三色透光圆形挡板分别为红、黄和蓝三色,激光光束穿过圆形挡板带有不同的颜色,激光光束的能量也有不同。

本发明具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,本发明设计合理,加工成本低,低噪声,带宽高,输出性能高,测量平台得到优化。

具体实施方式

提供一种纳米定位台高频增益补偿的方法,所述的方法包括:

(1)使用激光机射出激光光束,将光束打在纳米定位台上,同时在电脑终端选择接收模式,接受激光光束的光信号,通过计算全息方法得到光束径向参数为零的光束全息图像,选择高频增益补偿模式计算用于对输入的超声图像数据进行高频增益补偿的增益补偿参数;

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