[发明专利]一种微透镜阵列的制备方法在审
申请号: | 201811028751.9 | 申请日: | 2018-09-01 |
公开(公告)号: | CN109270604A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 马宁;张馨月;朱旭;王强;魏浩;王伟;高闪;张智嘉;王国军;欧阳肖 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工程大学 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00;G02B1/04;C09D171/02;C09D125/06;C09D133/14 |
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地址: | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微透镜阵列 制备 聚合物 球形结构 基底 制备技术领域 亲水聚合物 微光学器件 反应条件 溶剂挥发 有机溶剂 有机溶液 制备工艺 制备过程 晾干 相分离 挥发 亲油 溶剂 液面 清洗 配置 | ||
本发明公开了一种微透镜阵列的制备方法,属于微光学器件制备技术领域。本发明使用两种不同的聚合物溶于有机溶剂配置溶液,并将其滴在清洗干净的基底上,静置溶液直至晾干,从而得到微透镜阵列。本发明利用的是聚合物在溶液中的相分离制备微透镜阵列。在有机溶液中,亲油的聚合物趋向聚集在一起并在界面张力的作用下形成球形结构,随着溶剂挥发,球形结构逐渐露出液面,直到溶剂完全挥发完,聚合物保持球形嵌于亲水聚合物中,形成微透镜阵列。该方法制备工艺简单,反应条件温和,制备过程中使用的材料廉价易得。同时,实际操作中采用不同的条件,可制备出具有不同功能及不同尺寸的微透镜阵列。此外,该方法还可实现在不同基底上制备微透镜阵列。
技术领域
本发明属于微光学器件制备技术领域,具体涉及一种微透镜阵列的制备方法。
背景技术
近几年来,微透镜阵列作为一种新型的功能化器件,在微机电系统、小型传感器和微型光学元件等领域中熠熠生辉。随着微加工和图案化技术的发展,微结构器件具有更快响应速度、更廉价成本、更低能耗和更优性能。
目前微透镜阵列的方法,主要包括模板法、表面微加工技术、反应离子束刻蚀技术、光刻胶回流方法、激光直接写入、热压模成型法、离子交换法、灰度掩膜、微喷打印、掩模移动法和光敏玻璃热成形法等。其中模板法是目前运用较为广泛的一种方法,例如公开号为CN104503007A的“一种微透镜阵列制备方法”的专利文件中,公开了一种在清洗干净的蓝宝石玻璃基板上涂覆一层光刻胶,通过光刻把目标结构掩模板图形转印到蓝宝石玻璃基板上,对蓝宝石玻璃基板进行加热,得到光刻胶微透镜阵列模版,采用离子束刻蚀机对制作好光刻胶微透镜阵列的蓝宝石玻璃基板进行刻蚀,完全去除蓝宝石玻璃基板上的光刻胶制备到由蓝宝石玻璃作为结构层和基底的微透镜阵列的方法,但该方法需要苛刻的反应条件,繁琐的操作步骤,较高的温度以及昂贵的设备。
发明内容
本发明的目的在于提供一种工艺简单、条件温和、重复性好的微透镜阵列的制备方法。
本发明的目的是这样实现的:
本发明公开了一种微透镜阵列的制备方法,通过以下步骤实现:
(1)将基底清洗干净;
(2)将两种不同种类的聚合物按照比例溶于有机溶剂中配成溶液;
(3)取定量溶液滴于清洗干净的基底上;
(4)静置基底至晾干,得到微透镜阵列。
优选的,步骤(2)中所述的两种不同种类的聚合物具有不同的亲水性。
优选的,步骤(2)中所述的两种不同种类的聚合物的配置比例为1:2~20:1。
优选的,步骤(2)中所述的有机溶剂为所有聚合物的良溶剂。
优选的,步骤(2)中所述的配置成的有机溶液的浓度为0.5%~20%。
优选的,步骤(3)中所述的滴加的溶液量大于1μL。
优选的,步骤(4)中所述的静置时间大于1s。
优选的,步骤(1)中所述的基底种类为玻璃、硅片或聚合物层。
本发明的有益效果在于:
本发明利用的是聚合物在溶液中的相分离制备微透镜阵列。在有机溶液中,亲油的聚合物趋向聚集在一起并在界面张力的作用下形成球形结构,随着溶剂挥发,球形结构逐渐露出液面,直到溶剂完全挥发完,聚合物保持球形嵌于亲水聚合物中,形成微透镜阵列。
与现有技术相比,本发明利用聚合物的相分离制备出了微透镜阵列。该方法制备工艺简单,反应条件温和,制备过程之中运用到的材料廉价易得。同时,根据实际条件,采用不同的条件,可制备出具有不同功能以及不同尺寸的微透镜阵列。此外,该方法可实现在不同基底上制备微透镜在阵列。
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