[发明专利]一种微型光纤光谱仪

权利要求书

1.一种微型光纤光谱仪，包括盒体(1)、入射狭缝(2)、准直模块(3)、色散模块(4)、聚焦模块(5)、探测模块(6)，其特征在于，所述盒体(1)内部分布着多个螺纹孔(7)和多个凹槽(8)，所述准直模块(3)、色散模块(4)、聚焦模块(5)和探测模块(6)安装于盒体(1)内部，位于螺纹孔(7)与凹槽(8)之间；所述入射狭缝(2)位于盒体(1)下部；所述入射狭缝(2)的轴线延伸交于准直模块(3)上，所述色散模块(4)置于准直模块(3)斜上方，所述聚焦模块(5)处于准直模块(3)上方，所述探测模块(6)安装于聚焦模块(5)的正对面；所述探测模块(6)前安装有用于增强光的透过性的保护窗(9)，保护窗(9)上镀有膜层；入射光通过入射狭缝(2)射入，经准直模块(3)准直射向色散模块(4)，由色散模块(4)衍射后，经过聚焦模块(5)聚焦成像，投射在探测模块(6)上。

2.根据权利要求1所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述螺纹孔(7)包括小螺纹孔(71)和大螺纹孔(72)，所述大螺纹孔(72)有八个，所述小螺纹孔(71)有八个；所述盒体(1)的每个角分别置有一个小螺纹孔(71)和一个大螺纹孔(72)。

3.根据权利要求2所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述凹槽(8)包括第一凹槽(81)、第二凹槽(82)、第三凹槽(83)、第四凹槽(84)和第五凹槽(85)；所述第一凹槽(81)、第二凹槽(82)和第三凹槽(83)垂直于盒体(1)的盒顶面，刻于盒体(1)的盒顶面的下方；所述第四凹槽(84)和第五凹槽(85)垂直于盒体(1)的盒底面，刻于盒体(1)的盒底面的上方，第四凹槽(84)位于第一凹槽(81)的正下方，第五凹槽(85)位于第三凹槽(83)的正下方。

4.根据权利要求3所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述凹槽(8)还包括第六凹槽(86)，所述第六凹槽(86)位于准直模块(3)与聚焦模块(5)之间。

5.根据权利要求1所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述入射狭缝(2)刻于光纤芯上，其宽度为5um、10um、25um、50um、100um或200um。

6.根据权利要求1所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述入射狭缝(2)和凹槽(8)通过激光雕刻形成。

7.根据权利要求1所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述探测模块(6)为具有电子快门功能的3648像素CCD探测器。

8.根据权利要求1所述的一种微型光纤光谱仪，其特征在于，所述保护窗(9)以透过率波段为180－2500nm的深紫外石英玻璃作为基底；所述膜层是透过率波段为透过波长段为500－1100nm的长通滤波片。