[发明专利]一种C3 有效
| 申请号: | 201811028295.8 | 申请日: | 2018-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN109192655B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 赵兴勇 | 申请(专利权)人: | 浙江西溪玻璃有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/0224 |
| 代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
| 地址: | 313200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 base sub | ||
1.一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
C3N4的制备:取三聚氰胺于马弗炉中,程序升温至500-600℃并煅烧1-3h,得到石墨相C3N4,再将石墨相C3N4手动研磨30-60min;
氧化锌-C3N4的制备:称取步骤(1)中经研磨后的石墨相C3N4加入到乙二醇中,超声震荡30-60min,得到C3N4分散液,将锌盐溶解于乙二醇中,得到含锌溶液,将所述溶液加入到所述C3N4分散液中,混合均匀后采用微波水热法进行反应,反应结束后将得到的混合溶液离心分离得到固体,将所述固体真空条件下干燥15-30h,得到所述氧化锌-C3N4,即CZO粉末;
TCO玻璃的制备:称取步骤(2)中所述CZO粉末加入到乙二醇中,超声分散2-5h,得到浓度为0.8-1.5mg/ml的CZO分散液,以硅片为衬底,把所述CZO分散液在匀胶机上进行甩胶,得到所述TCO玻璃。
2.根据权利要求1所述的一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述程序升温具体过程如下:以10-12℃/min的速率升温至350-400℃并保持1-2h,再以10-12℃/min的速率升温至500-600℃。
3.根据权利要求1或2所述的一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,将三聚氰胺放置于坩埚中,且三聚氰胺的体积为坩埚容积的1/2-2/3,再将坩埚口用封闭后置于马弗炉内煅烧。
4.根据权利要求1所述的一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述锌盐选自硝酸锌、氯化锌、硫酸锌或醋酸锌中的任意一种。
5.根据权利要求1或4所述的一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述石墨相C3N4和锌盐的添加质量比为1:15-25,所述C3N4分散液浓度为0.5-2mg/ml,所述含锌溶液浓度为30-35mg/ml。
6.根据权利要求5所述的一种C3N4改性的TCO玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述微波水热法反应在压力为180-200Mpa,温度为180-230℃下进行30-60min。
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