[发明专利]一种石墨烯的制备方法有效
| 申请号： | 201811028019.1 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109399622B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 辛存良;陈剑;王丽;傅斌;范仙红;占化斌;张亚辉;何世安 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十六研究所 |
| 主分类号： | C01B32/19 | 分类号： | C01B32/19 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 赵瑜;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨烯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将石墨粉体在真空环境下充分除湿干燥；
S2、将干燥后石墨粉体装入可封闭的专用工装内，利用等静压法将粉体成型；
S3、将等静压成块状的石墨加工成石墨靶材，除湿干燥后通过磁控溅射的方法在基体表面沉积石墨烯膜层，即得到所需石墨烯；
步骤S3所述磁控溅射的真空度为10-5mbar数量级，射频功率为100~120W，沉积速率为0.12~0.16nm/s，沉积时间为3~8s。
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯的制备方法，其特征在于：步骤S1所述石墨粉体为纳米级石墨粉体。
3.根据权利要求1所述的一种石墨烯的制备方法，其特征在于：步骤S1所述除湿干燥的条件为70~90℃干燥4~8小时。
4.根据权利要求1所述的一种石墨烯的制备方法，其特征在于：步骤S2所述等静压法中的压力控制在40000~60000PSI。
5.根据权利要求1或3所述的一种石墨烯的制备方法，其特征在于：步骤S3所述除湿干燥的条件为70~90℃干燥4~8小时。
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