[发明专利]用于制造显示装置的设备

说明书

本发明公开了用于制造显示装置的设备。本发明的用于制造显示装置的设备包括腔室、掩模组件、源部、磁体部、激光照射部和激光感测部，其中，掩模组件布置在所述腔室内部，源部布置成与所述掩模组件相对并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使沉积物质沉积到显示衬底上，磁体部布置在所述腔室内部并且向所述掩模组件施加电磁力以使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧，激光照射部布置在所述腔室内部并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光，激光感测部布置在所述腔室内部并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，并且所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果来调整施加至所述掩模组件的电磁力。

技术领域

本发明实施方式涉及一种设备，更详细地涉及用于制造显示装置的设备。

背景技术

基于移动性的电子装置被广泛使用。最近，作为移动性电子装置，除了如移动电话的小型电子装置以外，平板PC也被广泛使用。

为了支持多种功能，如上所述的移动型电子装置包括显示装置以向用户提供诸如图像或视频的视觉信息。最近，随着用于驱动显示装置的其他部件被小型化，显示装置在电子装置中所占的比重呈逐渐增加的趋势，并且也在开发能够从平坦的状态弯曲成具有预定角度的结构。

发明内容

解决的技术问题

通常，在制造显示装置的情况下，可通过掩模组件来沉积沉积物质。在这种情况下，如果掩模组件因外力或自身重量而发生变形，则无法沉积出精细图案，从而可能会导致质量下降。因此，为了解决这种问题，本发明实施方式提供能够沉积出精细图案的用于制造显示装置的设备。

解决方法

本发明一实施方式公开了用于制造显示装置的设备，所述用于制造显示装置的设备包括腔室、掩模组件、源部、磁体部、激光照射部和激光感测部，其中，所述掩模组件布置在所述腔室内部，所述源部布置成与所述掩模组件相对并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使沉积物质沉积到显示衬底上，所述磁体部布置在所述腔室内部并且向所述掩模组件施加电磁力以使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧，所述激光照射部布置在所述腔室内部并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光，所述激光感测部布置在所述腔室内部并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，并且所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果调节施加至所述掩模组件的电磁力。

在本实施方式中，所述磁体部可基于由所述激光感测部感测到的结果仅对施加至所述掩模组件的电磁力中的一部分进行调节。

在本实施方式中，所述用于制造显示装置的设备还可包括冷却板，所述冷却板布置在所述磁体部与所述显示衬底之间。

在本实施方式中，所述激光照射部可向所述冷却板照射激光，并且所述激光感测部可感测由所述冷却板反射的激光。

在本实施方式中，所述用于制造显示装置的设备还可包括控制部，所述控制部基于由所述激光感测部感测到的激光来分别分离出与所述掩模组件、所述显示衬底和所述磁体部对应的频率。

在本实施方式中，所述控制部可通过与所述掩模组件对应的频率来辨别所述掩模组件是否变形。

在本实施方式中，所述控制部可根据所述掩模组件是否变形来控制所述磁体部的电磁力。

在本实施方式中，所述控制部可对由所述激光感测部感测到的激光进行傅立叶变换(Fourier transform)以分别分离出与所述掩模组件、所述显示衬底和所述磁体部对应的频率。

在本实施方式中，所述控制部可根据所述掩模组件是否变形来调整所述磁体部的位置。

在本实施方式中，所述掩模组件可包括掩模框架和多个掩模片，其中，所述多个掩模片布置在所述掩模框架上并且彼此连接。