[发明专利]基于方箱的超精密X-Y气浮平面定位平台

权利要求书

1.基于方箱的超精密X-Y气浮平面定位平台，其特征在于：包括花岗石支承平台（1），在所述花岗石支承平台（1）上设置有超精密花岗石基准方箱（7）、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，所述超精密花岗石基准方箱（7）为矩形框架结构，超精密花岗石基准方箱（7）设置在 Y 向运动气浮导轨部件内可实现超精密花岗石基准方箱（7）的 Y 向气浮运动，在所述超精密花岗石基准方箱（7）的外部套设所述X向运动气浮导轨部件，所述X向运动气浮导轨部件为矩形框架结构，所述超精密花岗石基准方箱（7）与X向运动气浮导轨部件之间的四个接触面均设有气浮结构薄膜，所述 X 向运动气浮导轨部件的上端面设有 X 向驱动直线电机组件和 X 向检测定光栅组件，X 向运动气浮导轨部件可在超 精密花岗石基准方箱（7）上X向气浮运动；

所述 X 向运动气浮导轨部件包括 X 向上花岗石气浮运动平板（4）、X 向下花岗石气浮支承滑块（13）, X向左花岗石气浮支承滑块（14）和 X 向右花岗石气浮支承滑块（17），X向上花岗石气浮运动平板（4）、X向下花岗石气浮支承滑块（13）, X向左花岗石气浮支承滑块（14）和X向右花岗石气浮支承滑块（17）围成矩形框架结构，在所述X向上花岗石气浮运动平板（4）上端面设置有若干连接孔（18），X向上花岗石气浮运动平板（4）下端面设置有多孔集成节流器（19），在 X 向上花岗石气浮运动平板（4）内设置有供气管路（20），供气管路（20）与多孔集成节流器（19）连通；在所述X向下花岗石气浮支承滑块（13）的上端面设置有多孔集成节流器（19），X向下花岗石气浮支承滑块（13）内设置有供气管路（20），供气管路（20）与多孔集成节流器（19）连通；在所述 X 向左花岗石气浮支承滑块（14）的内侧端面设置有多孔集成节流器（19），X向左花岗石气浮支承滑块（14）内设置有供气管路（20），供气管路（20）与多孔集成节流器（19）连通；在所述 X 向右花岗石气浮支承滑块（17）的内侧端面设置有多孔集成节流器（19），X向左花岗石气浮支承滑块（14）内设置有供气管路（20），供气管路（20）与多孔集成节流器（19）连通；

所述Y向运动气浮导轨部件包括两组对称设置的 Y 向运动气浮导轨单元，每组Y向运动气浮导轨单元均包括Y向下花岗石气浮支承导轨（8）、Y向侧面花岗石气浮支承导轨和Y向上花岗石气浮支承导轨（12），所述超精密花岗石基准方箱（7）设置在两组Y向运动气浮导轨单元之间，超精密花岗石基准方箱（7）与两组Y向运动气浮导轨单元的上下接触面设有气浮薄膜，所述Y向运动气浮导轨部件设有Y向驱动直线电机组件（3）和Y向检测定光栅组件。

2.根据权利要求1所述基于方箱的超精密X-Y气浮平面定位平台，其特征在于：所述超精密花岗石基准方箱（7）两端部的上、下端面及侧端面均设置多孔集成节流器（19），在超精密花岗石基准方箱（7）内设置供气管路（20）， 供气管路（20）与多孔集成节流器（19）连通。

3.根据权利要求2所述基于方箱的超精密 X-Y 气浮平面定位平台，其特征在于：所述X 向检测定光栅组件包括 X 向检测定光栅尺（10）和 X 向检测定光栅读数头（11）。

4.根据权利要求3所述基于方箱的超精密 X-Y 气浮平面定位平台，其特征在于：所述Y 向检测定光栅组件包括 Y 向检测定光栅尺（5）和 Y 向检测定光栅读数头（6）。

5.根据权利要求4所述基于方箱的超精密 X-Y 气浮平面定位平台，其特征在于：所述X 向驱动直线电机组件包括 X 向驱动直线电机定子部件（15）和 X 向驱动直线电机动子部件（16）。

6.根据权利要求5所述基于方箱的超精密X-Y气浮平面定位平台，其特征在于：所述两组对称设置的 Y 向运动气浮导轨单元之间设置有调整块（2）。