[发明专利]促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门

说明书

本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，以能够对任意的促动器及电磁阀容易适用或解除该适用，并且整体极为简单地构成，并且不损害促动器的紧凑性而容易在任意侧面周方向位置自由拆装电磁阀。促动器用电磁阀的安装构造具备：设置在圆筒型促动器的下部的基座体；以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀，固定该电磁阀的安装构件设置成能够围绕促动器主体的侧面转动。

技术领域

本发明涉及促动器(actuator)用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，特别地，涉及极适合于ALD工艺的促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门。

背景技术

近年来，作为半导体制造工艺，ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积法)工艺的引入得到进展。ALD工艺中，在高温(约200度)气氛下，通过极短周期的高速循环，从气体供给系统交替地向腔室供给前驱体、惰性气体、氧化种气体等的多种气体，以纳米级使原子层一层一层等质、均匀地累积到腔室内的晶圆的方式形成薄膜。作为这样的用于气体供给系统的阀门，从空气操作的(air operated)或阀门特性的优点等的观点，多数情况下采用具备气动促动器的直型隔膜阀门(direct diaphragm valve)。

另一方面，在如上所述的阀门的开闭操作(促动器的空气压操作)中，往往使随着通电产生的螺线管的励磁而切换压缩空气流路的电磁阀介于供给压缩空气的供气源和促动器之间，以该电磁阀进行空气操作，一般在这种情况下，电磁阀在与促动器(汽缸)分离的位置以气管等较长的空气配管连接，且促动器和电磁阀分离而分离独立地构成。

若介入有连接促动器和电磁阀之间的较长的空气配管，则在该较长的配管内的容积量的操作空气到达促动器为止的时间产生损耗，从而促动器对于电磁阀的切换动作的响应性变差，特别是在伴随着高速切换而要求极高的速应性、而且1次气体流量较小的ALD工艺中，该问题变得显著。

相对于此，经由既定电磁阀安装构造，将空气操作的促动器(汽缸)和其切换用电磁阀做成一体地接近/集成构造，从而使设置在它们之间的配管距离达到最小限乃至全无，提高促动器和电磁阀的响应性或阀门的维护性，特别是作为在ALD工艺中谋求良好的特性的现有技术，提出了专利文献1、2。

在专利文献1(同文献图1、段落0036)中，为了进一步减少驱动用流体通路的空间部而提高阀门的开闭工作的响应性的目的，示出了控制供给到气压式促动器内的驱动用流体(空气)的流通的电磁阀直接固定于促动器的上表面，且具备排除了空气配管的安装构造的隔膜阀门。

在专利文献2中，示出了供给操作流体的操作用电磁阀的安装构造，该安装构造中提出了这样的构造：通过具有内部流路的既定构造的安装螺钉，经由密封构件能够直接对向汽缸上表面侧开口的操作端口固定既定构造的安装块，由此将电磁阀接近固定在汽缸上表面侧。

除了上述之外，还存在具备能够经由将电磁阀固定于促动器的固定用金属零件，将电磁阀转动自如地固定在促动器的侧面侧的安装构造的阀门产品。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5054904号；

专利文献2：日本特许第6166855号。

发明内容

发明要解决的课题