[发明专利]加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统

说明书

本申请涉及一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统，加热设备内设置有多个加热区域，该方法包括：选取一个加热区域以及加热区域的相邻的两个加热区域；获取加热区域的加热区域温度，以及相邻两个加热区域的两个相邻加热区域温度；分别计算加热区域温度与两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值；读取预设的温度差阈值，判断第一温度差值和第二温度差值是否均大于温度差阈值；若是，判断选取的加热区域发生故障；排查选取的加热区域的故障发生位置。本申请通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障并排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转，提高工作效率。

技术领域

本申请涉及加热设备领域，特别是涉及一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统。

背景技术

PVD即物理气相沉积技术，是当前国际上广泛应用的先进表面处理技术。其工作原理就是在真空条件下，通过气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子产生轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上。PVD(物理气相沉积技术)具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好和可镀材料广泛等优点。PVD(物理气相沉积技术)设备主要包括PVD(物理气相沉积技术)隔离室，在PVD(物理气相沉积技术)隔离室中工艺人员执行主要的PVD(物理气相沉积技术)过程。即将进行沉积工艺的硅片去除表面杂质，通过加热将硅片表面的杂质挥发，从而去除表面脏物。

PVD(物理气相沉积技术)隔离室在执行PVD(物理气相沉积技术)过程中需要进行加热。传统方案采用开环控制加热设备，使用固定功率加热。

然而传统方案中的加热设备存在很严重的问题：加热设备的加热功率根据工艺人员的经验设置，一旦设置完成后，工件的加热温度处于恒定状态，无法反馈加热状态。当加热设备中的多组加热器进行加热时，某一加热区域的加热器如果发生故障，加热设备无法给出提示，导致温度的均匀性差，工件质量遭受影响，工作效率低下，

发明内容

基于此，有必要针对传统方案对于无法在加热设备加热过程中检测故障的问题，提供一种加热设备故障检测方法与具有故障检测功能的加热系统。

一种加热设备故障检测方法，所述加热设备内设置有多个加热区域，所述加热设备故障检测方法包括：

选取一个所述加热区域以及所述加热区域的相邻的两个加热区域；

获取所述加热区域的加热区域温度，以及所述相邻的两个加热区域的两个相邻加热区域温度；

分别计算所述加热区域温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第一温度差值和第二温度差值；

读取预设的温度差阈值，判断所述第一温度差值和所述第二温度差值是否均大于所述温度差阈值；

若是，判断所述选取的加热区域发生故障，控制报警装置报警；

排查所述选取的加热区域的故障发生位置。

本申请通过计算相邻加热区域温度的差值并将其和预设阈值比较，判断加热区域是否发生故障，并在故障发生后排查故障发生位置，保证加热设备的稳定运转和工件的质量，提高工作效率。

在其中一实施例中，所述加热区域内设置有检测装置和加热装置，所述检测装置用于检测所述加热区域的加热区域温度，所述加热装置用于在所述加热区域内完成加热过程。

在其中一实施例中，所述排查所述选取的加热区域的故障发生位置的步骤包括：

控制任一所述相邻的加热区域的检测装置获取所述选取的加热区域的温度，作为故障测试温度；

接收所述故障测试温度；

分别计算所述故障测试温度与所述两个相邻加热区域温度的差值，获得第三温度差值和第四温度差值；