[发明专利]一种冷氢化尾气的处理方法

说明书

本发明实施例公开了一种冷氢化尾气的处理方法，提供冷氢化尾气；将所述冷氢化尾气通过第一吸附装置吸附，分离得到第一产品气、第二产品气、原料气和吸附物，收集所述第一产品气；释放所述第二产品气，直至所述第二产品气所处的环境压强达到第一预定值；降压收集所述原料气和所述吸附物；向所述第一吸附装置补充所述第二产品气和/或第一产品气，直至所述第一吸附装置内的压强达到第二预定值；所述处理方法能够有效分离、去除冷氢化尾气中的杂质气体，得到高纯气体，实现对氢气的回收利用，极大的减少氢气浪费。

技术领域

本发明涉及一种尾气处理方法，尤其涉及一种冷氢化尾气的处理方法。

背景技术

在多晶硅生产中大多企业都采用改良西门子法，即增加冷氢化系统来处理还原过程副产的大量四氯化硅副产物，以实现全物料的闭路循。

冷氢化系统在首次开车和检修前后通常采用氮气置换，且外购硅粉脱除水分也采用热氮气加热方式，在加料过程中氮气连续不断进入冷氢化系统。因其惰性气体的性质，不会参与冷氢化系统反应，会随着系统的连续运行，氮气将不断富集，不但增加能耗，而且还严重影响转化率。

传统工艺中，采用氢气置换冷氢化系统内部中氮气，来降低氮气含量。导致需要不断对冷氢化系统的含氮氢气(即未被处理的尾气)进行置换，并连续排出含氢气的尾气至放空淋洗塔，同时补充纯净氢气，从而稳定冷氢化系统反应的氢气浓度，通过计算，系统氮含量在5％(vol％)时，每置换出1标方的氮气将会损失19标方的氢气，造成严重的氢气浪费。

发明内容

为解决以上技术问题，本发明实施例提供一种冷氢化尾气的处理方法，所述处理方法能够分离、去除冷氢化尾气中的杂质气体，进而得到高纯气体，实现对氢气的回收利用，极大的减少氢气的浪费。

为达上述目的，本发明实施例的技术方案是这样实现的：

本发明实施例提供一种冷氢化尾气的处理方法，包括：

提供冷氢化尾气；

将所述冷氢化尾气通过第一吸附装置吸附，分离得到第一产品气、第二产品气和吸附物，收集所述第一产品气；

释放所述第二产品气，直至所述第二产品气所处的环境压强达到第一预定值；

降压收集所述吸附物；

向所述第一吸附装置补充所述第二产品气和/或第一产品气，直至所述第一吸附装置内的压强达到第二预定值。

上述实施例中，所述提供冷氢化尾气具体为：将包含有氮气、氯化氢、氯硅烷和氢气的冷氢化尾气进行调压处理和控温处理。

上述实施例中，还包括：将收集的所述吸附物和所述第二产品气通过淋洗处理得到废水，利用所述废水对所述冷氢化尾气进行控温处理；

或进行废水处理并排放。

上述实施例中，所述冷氢化尾气吸附前的压强为：所述调压处理具体为，将所述冷氢化尾气的压力调整至2～3MPaG，所述控温处理具体为将所述冷氢化尾气温度控制在20～30℃。

上述实施例中，所述第二产品气通过一个以上的所述第二吸附装置依次进行抽取，直至所述第一吸附装置所处的环境压强达到第一预定值。

上述实施例中，释放所述第二产品气，直至所述第二产品气所处的环境压强达到第一预定值具体为：0.1～0.5MPaG；

通过第二吸附装置获取所述第二产品气；直至所述第二吸附装置的压强与所述第一吸附装置的压强一致。

上述实施例中，降压收集所述原料气和所述吸附物的方式为抽真空，其中，所述抽真空的真空度大于-50KpaG。