[发明专利]LED与OLED串联的白光发光芯片及其制备方法在审
申请号: | 201811011001.0 | 申请日: | 2018-08-31 |
公开(公告)号: | CN110875358A | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 李璟;苏康;王国宏;葛畅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张宇园 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led oled 串联 白光 发光 芯片 及其 制备 方法 | ||
1.一种LED与OLED串联的白光发光芯片,其特征在于,包括:衬底(1);蓝光LED结构,形成在所述衬底(1)上,包括N电极(7);OLED结构,形成在所述蓝光LED结构上,包括第二透明导电层(16);其中,所述蓝光LED结构的N电极(7)与所述OLED结构的第二透明导电层(16)电性互联。
2.根据权利要求1所述的LED与OLED串联的白光发光芯片,其特征在于,所述衬底(1)为蓝宝石衬底、SiC衬底、Si衬底或GaN衬底。
3.根据权利要求1所述的LED与OLED串联的白光发光芯片,其特征在于,所述蓝光LED结构还包括:μ-GaN层(2),生长在所述衬底(1)上;n-GaN层(3),生长在所述μ-GaN层(2)上;多量子阱发光层(4),生长在所述n-GaN层(3)上;p-GaN层(5),生长在所述多量子阱发光层(4)上;第一透明导电层(6),制备于所述p-GaN层(5)上;P电极(8),光刻在台面上,其中,所述台面为在所述n-GaN层(3)上刻蚀掉部分多量子阱发光层(4)和p-GaN层(5)之后露出n-GaN层(3)部分;分布式布拉格反射层(9),包围在所述蓝光LED结构外围。
4.根据权利要求1所述的LED与OLED串联的白光发光芯片,其特征在于,所述OLED结构还包括:空穴传输层(10),生长在所述透明导电层(6)上;黄色发光层(11),生长在所述空穴传输层(10)上;电子传输层(12),生长在所述黄色发光层(11)上;金属阴极Al(13),制备于所述电子传输层(12)上。
5.根据权利要求1所述的LED与OLED串联的白光发光芯片,其特征在于,所述发光芯片还包括:UV封装胶(14),涂敷于芯片四周;玻璃盖板(15),压合、UV固化于所述芯片上表面。
6.一种LED与OLED串联的白光发光芯片制备方法,其特征在于,包括:
制作蓝光LED结构的N电极(7)、P电极(8)和分布式布拉格反射层(9),并在N电极(7)和P电极(8)处刻蚀孔洞;
制作OLED结构的第二透明导电层(16),并通过所述孔洞与LED结构的N电极(7)电性互联。
7.根据权利要求6所述的LED与OLED串联的白光发光芯片制备方法,其特征在于,制作蓝光LED结构的PN电极之前还包括:
在衬底(1)上制备GaN外延片;
对GaN外延片进行ICP台面刻蚀,获得独立的蓝光LED结构;
在所述蓝光LED结构的P台面上制备第一透明导电层(6)。
8.根据权利要求6所述的LED与OLED串联的白光发光芯片制备方法,其特征在于,制作OLED结构的第二透明导电层(16)之后还包括:
在衬底背面进行磨抛减薄;
制作所述OLED结构的各功能层;
对衬底进行激光切割,获得独立的LED与OLED串联的白光发光芯片;
对所述发光芯片进行封装。
9.根据权利要求7所述的LED与OLED串联的白光发光芯片制备方法,其特征在于,所述制备GaN外延片包括:从下至上依次生长μ-GaN层(2)、n-GaN层(3)、多量子阱发光层(4)和p-GaN层(5)。
10.根据权利要求8所述的LED与OLED串联的白光发光芯片制备方法,其特征在于,所述制作所述OLED结构的各功能层包括:从下至上依次制备空穴传输层(10)、黄色发光层(11)、电子传输层(12)和金属阴极Al(13)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的