[发明专利]一种高纯氨连续生产系统及其生产工艺有效

专利信息
申请号: 201811001607.6 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN109231238B 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 赵晓兰;丁高松;潘佳伟;鄢芝勇 申请(专利权)人: 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
主分类号: C01C1/12 分类号: C01C1/12
代理公司: 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 代理人: 郑文涛
地址: 314415 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 连续生产 系统 及其 生产工艺
【权利要求书】:

1.一种高纯氨连续生产系统,其特征在于,包括原料氨储罐(1)、进料泵(2)、汽化器(3)、过滤器(4)、两级氨精馏塔装置、第一缓冲罐(5)、第二缓冲罐(6)、产品罐(7)、倒液泵(8)、分析检测仪(9),所述原料氨储罐(1)与进料泵(2)入口相连,进料泵(2)出口与汽化器(3)入口相连,汽化器(3)气相出口与过滤器(4)通过氨气管道相连,过滤器(4)与两级氨精馏塔装置相连,两级氨精馏塔装置的产品采出口连接有液氨管道,分析检测仪(9)、第一缓冲罐(5)和第二缓冲罐(6)依次连接在与产品采出口连接的液氨管道上,第一缓冲罐(5)、第二缓冲罐(6)的出口通过液氨管道连接产品罐(7)和倒液泵(8),倒液泵(8)的出口与原料氨储罐(1)相连,两级氨精馏塔装置包括第一精馏塔(10)和第二精馏塔(11),所述第一精馏塔(10)的顶部设有第一冷凝器(13),第二精馏塔(11)的顶部设有第二冷凝器(14),第一精馏塔(10)、第二精馏塔(11)的底部均连接有再沸器(12),第一冷凝器(13)的气相出口与第二精馏塔(11)的进口连接,第二冷凝器(14)的气相出口连接尾气处理系统(15)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氨连续生产系统,其特征在于,第一精馏塔(10)、第二精馏塔(11)的塔内填有波纹丝网填料。

3.根据权利要求1所述的一种高纯氨连续生产系统,其特征在于,所述原料氨储罐(1)、汽化器(3)、第一精馏塔(10)、第二精馏塔(11)、第一缓冲罐(5)、第二缓冲罐(6)、产品罐(7)上均设置有压力表、温度计和安全阀。

4.根据权利要求1所述的一种高纯氨连续生产系统,其特征在于,所述汽化器(3)内附有能水浴加热的加热盘管。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氨连续生产系统,其特征在于,所述产品罐(7)、第一缓冲罐(5)、第二缓冲罐(6)上设有冷冻水夹套。

6.一种高纯氨连续生产工艺,其特征在于,具体步骤如下:

S1: 原料氨检验合格后经液氨管道卸料至原料氨储罐(1),原料氨储罐(1)压力在3-13Bar;

S2: 原料由原料氨储罐(1)经进料泵(2)输送至汽化器(3),所述进料泵(2)需采用无油式输送泵;

S3: 原料在汽化器(3)内,升温增压,确保足够压力,汽化器(3)升压原理为:汽化器(3)内附有热水盘管,原料氨通过热水盘管提供的热量进行升温增压,热水温度控制在30-45℃,正常运行过程中汽化器(3)控制压力为8-12Bar;

S4: 氨在汽化器(3)内由液态变为气态,气态氨由汽化器(3)经氨气管道进入过滤器(4)除去部分颗粒物质及油分;

S5:除去油分和颗粒物质的氨气进入第一精馏塔(10),通过第一精馏塔(10)顶部设有的冷凝器提供下降冷凝液,第一精馏塔(10)底部设有的再沸器(12)提供上升蒸汽,氨在精馏塔内实现气液相传质、传热,除去氨中的重组分杂质,重组分杂质为水,杂质水除到20ppb以内;

S6:除去重组分的氨气由第一精馏塔(10)的第一冷凝器(13)顶部,进入到第二精馏塔(11),通过第二精馏塔(11)顶部设有的第二冷凝器(14)提供下降冷凝液,第二精馏塔(11)底部设有的再沸器(12)提供上升蒸汽,氨在第二精馏塔(11)内实现气液相传质、传热,除去氨中的轻组分杂质,轻组分杂质包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧气、氮气、氢气;

S7: 第二精馏塔(11)的产品采出口设置有分析取样管线,直接连通至分析检测仪(9),对产品品质进行24小时,时时在线监测,监测组分为水、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧气、氮气、氢气;

S8:分析检测仪(9)检测合格后的氨气纯度达到99.99999%,经第二精馏塔(11)的产品采出口,由顶部进入第一缓冲罐(5),第一缓冲罐(5)设有冷却水夹套,第一缓冲罐(5)压力为5-8Bar;

S9:第一缓冲罐(5)中的液氨通过压差经底部采出至产品罐(7);

S10:当生产线出现异常或产品品质异常时,两级氨精馏塔装置的产品采出口切换连接至第二缓冲罐(6),对生产线工艺进行排查,生产线恢复正常时,产品采出口切换回第一缓冲罐(5),第二缓冲罐(6)中的液氨经倒液泵(8),倒料至原料氨储罐(1)。

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