[发明专利]坩埚、蒸镀装置和蒸镀方法

说明书

本发明公开了一种坩埚、蒸镀装置和蒸镀方法，属于镀膜技术领域。所述坩埚包括：可拆连接的埚体和埚盖组件，所述埚体和埚盖组件构成坩埚腔室；所述埚盖组件包括至少两个层叠着的子埚盖，所述至少两个层叠着的子埚盖中任意两个相邻的子埚盖可拆连接；每个所述子埚盖均设置有开口，每个所述子埚盖的开口处均设置有向所述坩埚腔室内部延伸的延伸部，所述任意两个相邻的子埚盖的延伸部相互嵌套。所述蒸镀装置包括上述坩埚、蒸镀腔室和拆卸组件。本发明通过使用一种包括坩埚，蒸镀腔室和拆卸组件的蒸镀方法，解决了相关技术中坩埚上的开口被堵塞时，较难处理的问题，达到了简化操作步骤，提高蒸镀装置的蒸镀速率的效果。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，特别涉及一种坩埚、蒸镀装置和蒸镀方法。

背景技术

蒸镀装置通常包括蒸镀腔室和设置在蒸镀腔室内的坩埚。其中，蒸镀腔室用于放置待镀膜部件，坩埚用于放置镀膜材料。通过加热坩埚可以使镀膜材料蒸发，并在蒸镀腔室中的待镀膜部件表面形成膜层。

相关技术中的一种坩埚，其内部设置有用于放置镀膜材料的坩埚腔室，该坩埚上还设置有使该坩埚腔室与外部连通的开口。镀膜材料蒸发后，可以从该开口溢出坩埚。在通过蒸镀装置进行蒸镀的过程中，若该开口被镀膜材料堵塞，则可以打开蒸镀腔室，取出该坩埚。之后将新的坩埚放入蒸镀腔室以继续进行蒸镀。

发明人在实现本发明的过程中，发现上述方式至少存在如下缺陷：上述坩埚上的开口被堵塞时，较难处理，进而严重影响了蒸镀装置的蒸镀速率。

发明内容

本发明实施例提供了一种坩埚、蒸镀装置和蒸镀方法，能够解决相关技术中坩埚上的开口被堵塞时，较难处理的问题。所述技术方案如下：

根据本发明的第一方面，提供了一种坩埚，所述坩埚包括：

可拆连接的埚体和埚盖组件，所述埚体和埚盖组件构成坩埚腔室；

所述埚盖组件包括至少两个层叠着的子埚盖，所述至少两个层叠着的子埚盖中任意两个相邻的子埚盖可拆连接；

每个所述子埚盖均设置有开口，每个所述子埚盖的开口处均设置有向所述坩埚腔室内部延伸的延伸部，所述任意两个相邻的子埚盖的延伸部相互嵌套。

可选的，每个所述子埚盖的开口均为圆形开口。

可选的，每个所述子埚盖的开口处的延伸部均呈管状。

可选的，相互嵌套的所述任意两个相邻的子埚盖的延伸部中，位于内侧的延伸部的长度≥位于外侧的延伸部的长度。

可选的，所述任意两个相邻的子埚盖螺纹连接。

可选的，所述任意两个相邻的子埚盖卡扣连接。

根据本发明的第二方面，提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔室和任一所述的坩埚。

可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述蒸镀腔室中的拆卸组件，所述拆卸组件用于拆除所述坩埚中的子埚盖。

根据本发明的第三方面，提供了一种蒸镀方法，所述方法包括：

在通过所述蒸镀装置进行蒸镀时，根据蒸镀速率判断所述坩埚的埚盖组件中，是否存在开口被堵塞的子埚盖；

在存在所述开口被堵塞的子埚盖时，将所述开口被堵塞的子埚盖拆除。

可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述蒸镀腔室中的拆卸组件，

所述在所述开口被堵塞时，将所述位于最外侧的子埚盖拆除，包括：

所述在所述开口被堵塞时，通过所述拆卸组件将所述位于最外侧的子埚盖拆除。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：