[发明专利]转换器

说明书

一种转换器，维持背板的强度的同时，提高信噪比。转换器具备基板、与基板相对配置的背板、与背板相对配置的隔膜，背板具有主体部、支承主体部且与基板连接的支承部、贯通主体部的多个贯通孔，主体部具有：具有多个贯通孔的一部分的中央区域和连续或离散地包围中央区域且具有多个贯通孔的其它部分的三个以上的周边区域，各周边区域连续或离散地包围中央区域，中央区域及各周边区域的贯通孔的开口率相互不同，中央区域及各周边区域的开口率在中央区域内及各周边区域内为一定，中央区域的开口率比各周边区域的开口率高，主体部的外周侧的周边区域的开口率比中央区域侧的周边区域的开口率低。

技术领域

本发明涉及一种转换器(transducer)。

背景技术

近年来，采用利用了使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术制造的静电电容型转换器的麦克风(以下，均称为MEMS麦克风)。静电电容型转换器中，将接收压力进行振动的振动电极膜经由空隙与固定有电极膜的背板相对配置，并在背板上设置有多个贯通孔。提出有一种音响变换器，该音响变换器具备：具有备有多个穿孔的平坦的表面的罩部件、安装于罩部件的基板、设置于罩部件与基板之间的振动板(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4338395号公报

发明所要解决的课题

设置于背板的贯通孔的开口率越高，信噪比(SNR：Signal to Noise Rate)越高。但是，当设置于背板的贯通孔增大时，背板的强度降低。

发明内容

鉴于上述这种状况，本发明的目的在于，维持背板的强度，同时提高信噪比。

本发明中，为了解决所述课题，采用以下的技术方案。即，本发明的转换器具备：基板，其具有孔；背板，其与基板的孔的开口相对配置；隔膜，其在与背板之间经由空隙与背板相对配置，背板具有主体部、支承主体部且与基板连接的支承部、贯通主体部的多个贯通孔，主体部具有：具有多个贯通孔的一部分的中央区域和连续或离散地包围中央区域且具有多个贯通孔的其它部分的三个以上的周边区域，三个以上的周边区域各自连续或离散地包围中央区域，中央区域及三个以上的周边区域各自的贯通孔的开口率相互不同，中央区域及三个以上的周边区域各自的开口率在中央区域内及各周边区域内一定，中央区域的所述开口率比三个以上的周边区域各自的开口率高，主体部的外周侧的周边区域的开口率比中央区域侧的周边区域的所述开口率低。

中央区域的贯通孔的开口率为中央区域所包含的多个贯通孔合计的开口面积相对于中央区域的面积的比率。各周边区域的贯通孔的开口率为各周边区域所包含的多个贯通孔合计的开口面积相对于各周边区域的面积的比率。在所述转换器中，背板的中央区域的贯通孔的开口率高，背板的主体部的外周侧的周边区域的贯通孔的开口率比主体部的中央区域侧的周边区域的贯通孔的开口率低。即，从背板的主体部的中央区域侧朝向主体部的外周侧，背板的主体部的中央区域及各周边区域的贯通孔的开口率逐渐减少。由此，通过维持背板的强度的同时，提高中央区域及各周边区域的贯通孔的开口率，能够提高信噪比。

在所述转换器中，从背板的与隔膜的相对面的法线方向观察，主体部也可以为具有相对的两边的多边形状，从主体部的外周到中央区域的外周的距离为相对的两边之间的距离的25％以下。所述转换器中，从背板的与隔膜的相对面的法线方向观察，主体部也可以为圆形状，从主体部的外周到中央区域的外周的距离为圆形状的直径的25％以下。通过这些，能够较高地保持背板的开口率，且维持背板的强度。背板的开口率为贯通孔合计的开口面积相对于背板的与隔膜的相对面或相对面的相反面的总面积的比率。

所述转换器中，中央区域的贯通孔的开口率也可以为50％以上。中央区域的对转换器的噪声的影响较大，因此，通过将中央区域的贯通孔的开口率设为50％以上，能够提高转换器的信噪比。