[发明专利]一种柔性薄膜绷紧固定装置在审
| 申请号： | 201810995428.2 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109192697A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 高国涵;范斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 柔性薄膜 绷紧 升降台 压膜环 主框架 顶螺 旋轮 转动 压力传感器组 固定工作台 固定装置 光栅位移 下压力板 下螺座 压膜板 驱动 预置 薄膜边缘 薄膜框架 上压力板 直线轴承 自由薄膜 顶杆组 立柱组 圆对称 底台 夹持 上旋 锁死 承载 监测 检测 配合 | ||
1.一种柔性薄膜绷紧固定装置，其特征在于：所述的装置包括顶板(1)、上旋轮(2)、压力传感器组(3)、中旋轮(4)、下压力板(5)、压膜板(6)、薄膜主框架(7)、立柱组(8)、光栅位移计(9)、底台(10)、支座(11)、顶螺座(12)、上旋轮卡环(13)、上压力板(14)、顶杆组(15)、直线轴承组(16)、压膜环(17)、固定工作台(18)、升降台(19)、下旋轮(20)、下螺座(21)；其连接关系是，所述的底台(10)、立柱组(8)和顶板(1)连接组合为静定框架，并与支座(11)连接使固定工作台(18)处于方便操作的高度；下螺座(21)与底台(10)连接，顶螺座(12)与顶板(1)连接，上旋轮(2)、中旋轮(4)与顶螺座(12)螺纹连接，下旋轮(20)与下螺座(21)螺纹连接；上压力板(14)中心通过上旋轮卡环(13)与上旋轮(2)相连，上压力板(14)边缘通过直线轴承组(16)与立柱组(8)相连，顶杆组(15)的顶端有压力传感器组(3)并与上压力板(14)连接，顶杆组(15)底端和压膜板(6)相连；下压力板(5)中心与中旋轮(4)连接，下压力板(5)边缘通过直线轴承组(16)与立柱组(8)相连，压膜环(17)通过螺丝悬于下压力板(5)底面；固定工作台(18)中心镂空，边缘与立柱组(8)连接，升降台(19)与下旋轮(20)连接，光栅位移计(9)与升降台(19)相连监测其位移，薄膜主框架(7)置于升降台(19)上表面。
2.据权利要求1所述的柔性薄膜绷紧固定装置，其特征在于：所述的上旋轮(2)、上压力板(14)、中旋轮(4)、下压力板(5)、压膜环(17)、下旋轮(20)、升降台(19)和薄膜主框架(7)为同轴心设置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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