[发明专利]一种对位装置及对位平台

说明书

本发明提供一种对位装置及对位平台，涉及精密对位设备技术领域，该对位装置包括：位移台、电机座、底板、固定顶板、固定底板、固定立板、第一连接板、第二连接板、第三连接板、第一安装座、第二安装座、第三安装座、第一电机、第二电机、第三电机、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆；使用所述对位装置可准确控制各个方向的精确位置，XY轴电机安装在同一层零件上，结构紧凑，节约空间，并且使用伺服电机驱动，每个伺服电机独立控制，简化了算法和程序，在保证了驱动力和精度的情况下，使整个装置的体积减小，效率提高。

技术领域

本发明涉及精密对位设备技术领域，特别涉及一种对位平台及对位平台。

背景技术

对位平台，也叫做UVW平台，在如今的半导体装备和LCD制造装备中应用广泛，对于不同的工艺，对对位平台的要求不同。

对于可升降的对位平台来说，目前的装置是市面上通用的UVW平台加上升降机构，精度不足，体积不够小，且使用电机为小步进电机，自身扭矩小，容易卡死，且为三轴联动，程序算法复杂，难以控制。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种对位装置及一种对位平台，所述对位装置可准确控制各个方向的精确位置，XY轴电机安装在同一层零件上，结构紧凑，节约空间，并且使用伺服电机驱动，每个伺服电机独立控制，简化了算法和程序，在保证了驱动力和精度的情况下，使整个装置的体积减小，效率提高。

为实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种对位装置，包括：

位移台、电机座、底板、固定顶板、固定底板、固定立板、第一连接板、第二连接板、第三连接板、第一安装座、第二安装座、第三安装座、第一电机、第二电机、第三电机、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆；

所述第一导轨连接所述位移台和所述电机座，用于使所述位移台与电机座在X轴方向相对滑动；所述位移台在垂直于X轴方向设置有第一连接板，所述第一连接板与所述第一丝杆连接，所述第一丝杆穿过第一安装座，与第一电机固定连接，所述第一电机与第一安装座固定连接，所述第一安装座固定连接在电机座上；

所述第二导轨连接所述电机座与所述底板，用于使所述电机座与所述底板在Y轴方向相对滑动；所述底板在垂直于Y轴方向设置有第二连接板，所述第二连接板与所述第二丝杆连接，所述第二丝杆穿过所述第二安装座，与第二电机固定连接，所述第二电机与第二安装座固定连接，所述第二安装座固定连接在电机座上；

所述固定立板的一面设有一矩形槽孔，所述第三导轨通过所述矩形槽孔将所述第三丝杆与所述第三连接板连接，所述第三连接板与所述底板连接，用于使所述底板在Z轴方向相对滑动，所述固定立板顶部设置有固定顶板，所述固定立板底部设有固定底板，所述第三丝杆与所述固定顶板连接，所述第三丝杆与所述固定立板连接，并穿过所述第三安装座和固定底板与所述第三电机连接，所述第三安装座与所述固定立板固定连接，所述第三电机固定连接在固定底板底部。

进一步地，还包括旋转装置，所述旋转装置包括：

旋转电机、升降杆和轴承；

所述轴承安装于所述位移台中心位置，所述升降杆与所述轴承同心固定连接，所述旋转电机固定连接在所述位移台上，用于带动轴承和升降杆转动。

进一步地，所述旋转装置还包括真空吸头，所述真空吸头设置在所述旋转装置的升降杆一端。

进一步地，所述第一电机和所述第二电机设置在同一层零件上。

进一步地，所述第一电机、所述第二电机和所述第三电机均为伺服电机。

进一步地，所述第一导轨、所述第二导轨和所述第三导轨均为交叉滚子导轨。