[发明专利]机械手

权利要求书

1.一种机械手，用于移送半导体元件，其特征在于，

包括元件供给单元，上述元件供给单元包括第一元件供给器及第二元件供给器，上述第一元件供给器把持放置于第一装载袋的半导体元件来向测试区域移送，上述第二元件供给器把持放置于第二装载袋的半导体元件来向上述测试区域移送，

上述第一元件供给器和上述第二元件供给器将半导体元件放置于上述测试区域，以使通过上述第一元件供给器移送的半导体元件和通过上述第二元件供给器移送的半导体元件在上述测试区域一同被测试。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，

上述第一元件供给器包括用于移送上述半导体元件的第一头部，

上述第二元件供给器包括用于移送上述半导体元件的第二头部，

当从上述第一装载袋和上述第二装载袋向上述测试区域移送半导体元件时，上述第一头部和上述第二头部相互之间的间隔变小，当从上述测试区域向上述第一装载袋和上述第二装载袋移送半导体元件时，上述第一头部和上述第二头部相互之间的间隔变大。

3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，

上述第一元件供给器包括用于移送上述半导体元件的第一头部，

上述第二元件供给器包括用于移送上述半导体元件的第二头部，

当上述第一头部和上述第二头部从上述第一装载袋和上述第二装载袋向上述测试区域移送半导体元件时，上述第一头部和上述第二头部中的一个向上述测试区域移送上述半导体元件之后，上述第一头部和上述第二头部中的另一个向上述测试区域移送上述半导体元件。

4.根据权利要求2或3所述的机械手，其特征在于，

上述机械手还包括第一滑梭单元及第二滑梭单元，

上述第一滑梭单元包括：

第一滑梭本体，在装载半导体元件的第一装载区域和卸载半导体元件的第一卸载区域之间移动；

上述第一装载袋，设置于上述第一滑梭本体的一侧；以及

第一卸载袋，设置于上述第一滑梭本体的另一侧，

上述第二滑梭单元包括：

第二滑梭本体，在装载半导体元件的第二装载区域和卸载半导体元件的第二卸载区域之间移动；

上述第二装载袋，设置于上述第二滑梭本体的一侧；以及

第二卸载袋，设置于上述第二滑梭本体的另一侧，

在上述第一滑梭单元和上述第二滑梭单元中，

若上述第一滑梭本体及上述第二滑梭本体中的一个向靠近上述第一卸载区域或上述第二卸载区域的方向移动，则上述第一滑梭本体及上述第二滑梭本体中的另一个也向靠近上述第一卸载区域或上述第二卸载区域的方向移动，

若上述第一滑梭本体及上述第二滑梭本体中的一个向靠近上述第一装载区域或上述第二装载区域的方向移动，则上述第一滑梭本体及上述第二滑梭本体中的另一个也向靠近上述第一装载区域或上述第二装载区域的方向移动。

5.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，

上述机械手还包括对进行测试之前的半导体元件进行加热或冷却的温度调节部，

上述第一滑梭单元和上述第二滑梭单元设置于上述温度调节部及上述测试区域的两侧并以规定间隔相互隔开。