[发明专利]一种太阳能级硅片切割方法有效

专利信息
申请号: 201810988124.3 申请日: 2018-08-28
公开(公告)号: CN108972925B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 兰凤 申请(专利权)人: 扬州宏祥光电科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00
代理公司: 杭州知管通专利代理事务所(普通合伙) 33288 代理人: 黄华
地址: 225600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳 能级 硅片 切割 方法
【说明书】:

发明涉及硅片生产技术领域,具体的说是一种太阳能级硅片切割方法,该方法包括以下步骤:S1,在硅片的表面利用电镀的方法电镀一层金属膜;S2,将S1中电镀后的硅片放入线切割设备中切割成片,在线切割的同时,将硅片作为阳极,碳棒作为阴极,电镀液作为切削液,一边电镀一边切割;S3,将S2中切割下来的硅片放入酸洗池中,将硅片表面的金属膜洗除。本方法通过在待切割硅片的表面镀上一层金属膜,可减小硅片边缘缺口的产生。

技术领域

本发明涉及硅片生产技术领域,具体的说是一种太阳能级硅片切割方法。

背景技术

金刚石线切割机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式,使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的;金刚石线切割机的切割原理与弓锯相仿。高速旋转并往复回转的绕丝筒带动金刚石线做往复运动,金刚石线被二个张紧线轮(弹簧或气动)所张紧,同时加设两个导向轮以确保切割的精度和面型。

在对硅片进行切割时,由于硅片为硬而脆的材料,因此在进行线切割时,易于导致硅片的边缘出现缺口,造成硅片的报废。

发明内容

针对现有技术中的问题,本发明提供了一种太阳能级硅片切割方法,本方法通过在待切割硅片的表面镀上一层金属膜,可减小硅片边缘缺口的产生。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种太阳能级硅片切割方法,该方法包括以下步骤:

S1,在硅片的表面利用电镀的方法电镀一层金属膜;

S2,将S1中电镀后的硅片放入线切割设备中切割成片,在线切割的同时,将硅片作为阳极,碳棒作为阴极,电镀液作为切削液,一边电镀一边切割;

S3,将S2中切割下来的硅片放入酸洗池中,将硅片表面的金属膜洗除;

本方法中采用的线切割设备包括机体、放料机构、滑动机构、安装机构、冷却机构、输送机构、缓冲机构、切割机构、驱动机构及过滤机构;所述机体的侧壁安装用于固定所述驱动机构的所述安装机构,所述驱动机构的底部安装有用于切割硅片的所述切割机构,所述机体的表面固定连接有用于方便上料的所述放料机构,所述机体的顶部固定连接有用于固定所述切割机构的所述滑动机构,所述切割机构滑动连接于所述滑动机构的内部,所述机体的内部设有与所述切割机构的底部固定连接的所述缓冲机构,所述机体的侧面设有用于输送冷却液的所述输送机构,所述切割机构的外侧设有用于冷却的、与所述输送机构连通的所述冷却机构,所述机体的侧面设有用于过滤冷却液和玻璃碎屑的所述过滤机构。

具体的,所述安装机构包括安装板、固定筒及固定架,所述机体的其中一个侧壁固定连接内部中空、底部开口的所述安装板,所述机体的侧壁设有与所述安装板对应的所述固定架,所述固定架的内部焊接呈中空圆柱型结构的所述固定筒,将所述驱动机构安装于所述安装板的内部避免机器在转动时发生事故。

具体的,所述驱动机构包括检修板、两个曲杆、旋转套、固定轴、连杆、电机及曲轴,所述机体的另一侧壁安装所述电机,所述安装板的内部转动连接有与所述电机固定连接的所述曲轴,所述曲轴的表面固定连接长度相等的所述曲杆,两个所述曲杆的底部分别螺纹连接内部中空的、外侧壁呈六棱柱结构的两个所述旋转套,两个所述旋转套的底部转动连接呈“U”形结构的所述固定轴,所述固定轴的表面转动连接所述连杆,所述连杆、所述旋转套、所述曲杆及所述曲轴之间呈“几”字形结构,所述安装板的侧面设有方便检修的所述检修板,顺时针转动所述旋转套缩短所述曲杆与所述固定轴之间的距离,逆时针转动所述旋转套缩短所述曲杆与所述固定轴之间的距离,实现了增加或者所述切割机构与被切玻璃之间的切割长度,方便切割不同厚度的硅板。

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