[发明专利]电热微夹持器

权利要求书

1.一种电热微夹持器，包括基体(1)、驱动臂(2)和夹指(4)，所述驱动臂(2)与所述基体(1)连接，其特征在于：所述电热微夹持器还包括散热梁(3)，所述散热梁(3)连接在所述驱动臂(2)和所述夹指(4)之间。

2.根据权利要求1所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)具有第一端(31)和第二端(32)，所述第一端(31)与所述驱动臂(2)连接，所述第二端(32)与所述夹指(4)连接。

3.根据权利要求1至2任一所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)为长梁。

4.根据权利要求1至2任一所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)为S形。

5.根据权利要求1所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)与所述驱动臂(2)、所述夹指(4)一体成型。

6.根据权利要求1所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)由硅或镍制成。

7.根据权利要求1所述的电热微夹持器，其特征在于：所述驱动臂(2)包括左驱动臂和右驱动臂，所述散热梁(3)包括左散热梁和右散热梁，所述夹指(4)包括左夹指和右夹指。

8.根据权利要求7所述的电热微夹持器，其特征在于：所述左驱动臂、右驱动臂分别与所述基体(1)连接，所述左散热梁连接在所述左驱动臂和左夹指之间，所述右散热梁连接在所述右驱动臂和右夹指之间。

9.根据权利要求1所述的电热微夹持器，其特征在于：所述散热梁(3)与所述驱动臂(2)的连接处的温度为300℃时，所述夹指(4)末端的温度为35-70℃。