[发明专利]一种电解铜箔用钛阴极辊化学抛光液及抛光方法有效
申请号: | 201810984298.2 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109097779B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 王钰如;陈岢豪;张凯淇;张亚婷;吴敏娴;陈智栋 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | C23F3/06 | 分类号: | C23F3/06 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213164 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电解 铜箔 阴极 化学抛光 抛光 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种化学抛光液在电解铜箔用钛阴极辊中的抛光应用,其特征在于,该抛光液由浓度为10-100g/L氯代乙酸、10-50g/L乙二胺四乙酸二钠和0.01-0.5g/L壬基酚聚氧乙烯醚NP-10的水溶液组成;将钛阴极辊清洗去油后,放置在化学抛光液中,在20-60℃的条件下,旋转辊筒浸泡5-20分钟,降低钛阴极辊的粗糙度。
2.根据权利要求1所述化学抛光液在电解铜箔用钛阴极辊中的抛光应用,其特征在于,氯代乙酸选用氯乙酸、二氯乙酸或三氯乙酸。
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