[发明专利]一种深腔R角的加工工艺

说明书

本发明是一种深腔R角的加工工艺，应用于IC装备制造领域及航空制造领域的深腔R角加工，采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。加工R角前，先用钻头在R角处钻孔，避免铣削时R角处受力面积过大，导致断刀。在加工中若R角处有明确粗糙度标识，可以采用钻扩的形式，提高R角处表面粗糙度。降低了R角加工难度，提高R角加工效率及精度，避免铣削时由于R角过小，铣削刀具过长而产生的颤刀纹及过切。

技术领域

本专利属于IC装备制造领域及航空制造领域的深腔R角加工，特别是涉及一种深腔R角加工工艺。适用于机械制造行业(汽车、航空航天等)有类似高洁净度反应腔腔内R角的加工。

背景技术

随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。对芯片等有高洁净度要求的产品制造过程把控严格，对芯片所在反应腔内壁粗糙度有很高要求。本发明中的深腔R角的加工工艺，有效解决了刀具悬伸过长，刀具长径比过大而产生的震颤，这种震颤会直接导致零件粗糙度下降，甚至过切，减少零件使用寿命，并对芯片造成污染。这种震颤已成为深腔R角加工中较难解决的问题之一。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明的目的是提供一种深腔R角的加工工艺，它适用于类似深腔零件的R角加工，加工效率高，工艺稳定。

本发明的目的是通过如下技术方案实现的：

一种深腔R角的加工工艺，采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。

加工R角前，先用钻头在R角处钻孔，避免铣削时R角处受力面积过大，导致断刀。

在加工中若R角处有明确粗糙度标识，可以采用钻扩的形式，

提高R角处表面粗糙度。

本发明的有益效果是：

1、本发明采用钻削替代径向铣削，将切削力由径向转移到轴向，避免径向力使刀具震颤，损伤零件甚至过切。

2、本发明有效提高R角加工效率及加工效果，极大的降低了R角返修几率，提高表面粗糙度的同时也提高了零件使用寿命。

附图说明

图1是深腔零件结构图。

图2是深腔R角示意图。

图3是钻削刀具加工图。

图4是铣削刀具加工图。

具体实施方式

下面结合附图1-4及实施例对本发明进行详细描述。

一种深腔R角的加工工艺，采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。

加工R角前，先用钻头在R角处钻孔，避免铣削时R角处受力面积过大，导致断刀。

在加工中若R角处有明确粗糙度标识，可以采用钻扩的形式，提高R角处表面粗糙度。

实施例：

如图1所示零件所示，图示腔体深度为170mm。

如图2所示零件所示，图示腔体内R角为10mm。

如图3所示零件所示，在加工R角前，先在R角处用D20钻头钻孔，可采用钻扩形式，先用小钻头钻预孔。

如图4所示零件所示,钻孔后，再用铣刀精铣时，R角处受力面积减小，切削力减小，刀具径向力减小，刀具稳定不会产生震颤，提高R角加工效率及质量。