[发明专利]一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备

权利要求书

1.一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备,包括底板(1)，其特征在于：底板(1)上通过电机座安装有转动电机(2)，转动电机(2)的输出轴上安装有滚磨转动板(3)，滚磨转动板(3)的右端安装有滚磨执行装置(4)，滚磨转动板(3)中部安装有滚磨固定装置(5)，底板(1)的左端安装有滚磨辅助装置(6)；

所述滚磨转动板(3)的下端设置有滚磨转动杆(31)，滚磨转动杆(31)的下端通过滑动配合方式与滚磨滑槽(32)相连，滚磨滑槽(32)安装在底板(1)上；

所述滚磨固定装置(5)包括通过轴承安装在滚磨转动板(3)上的固定旋转柱(51)，固定旋转柱(51)为空壳结构，固定旋转柱(51)上沿其周向方向均匀设置有固定调节槽，固定调节槽内设置有固定调节机构(52)，固定旋转柱(51)的内壁上安装有固定推动气缸(53)，固定推动气缸(53)的顶端通过法兰安装在固定驱动架(54)上，固定驱动架(54)与固定调节机构(52)之间相互配合运动；

所述固定驱动架(54)呈十字形结构，固定驱动架(54)的顶端处均通过轴承安装有固定驱动辊(541)，且固定驱动辊(541)抵靠在固定调节块(522)上；

所述滚磨执行装置(4)包括安装在滚磨转动板(3)上的滚磨参照架(41)，滚磨参照架(41)的中部设置有滚磨调节槽，滚磨调节槽内设置有滚磨调节机构(7)，滚磨参照架(41)与滚磨转动板(3)之间通过滑动配合方式连接有执行安装架(42)，执行安装架(42)与滚磨参照架(41)的内壁之间连接有执行弹簧(43)，执行安装架(42)的内壁上通过电机座安装有执行驱动电机(44)，执行驱动电机(44)的输出轴上通过联轴器与执行丝杠(45)的下端相连，执行丝杠(45)的上端通过轴承安装在执行安装架(42)上，执行丝杠(45)上设置有执行滑块(46)，执行滑块(46)通过滑动配合方式与执行安装架(42)相连，执行滑块(46)上安装有执行作业架(47)，执行作业架(47)上设置有执行机构(49)。

2.根据权利要求1所述的一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，其特征在于：所述滚磨辅助装置(6)包括安装在底板(1)上的辅助支撑架(66)上，辅助支撑架(66)上设置有辅助作业孔，辅助作业孔内通过滑动配合方式安装有辅助抵靠架(67)，辅助抵靠架(67)呈倒T型结构，且辅助抵靠架(67)的下端包裹有橡胶，辅助抵靠架(67)与辅助支撑架(66)之间设置有辅助复位弹簧(68)，辅助抵靠架(67)的上端通过轴承设置有辅助辊(69)，辅助支撑架(66)上通过销轴设置有辅助工作板(610)，辅助工作板(610)抵靠在辅助辊(69)的外壁上，且辅助工作板(610)与辅助支撑架(66)之间通过销轴连接有辅助工作气缸(611)。

3.根据权利要求1所述的一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，其特征在于：所述滚磨调节机构(7)包括安装在执行滑块(46)上的调节联动杆(71)，调节联动杆(71)位于滚磨调节槽内，调节联动杆(71)上通过销轴连接有调节从动杆(72)，调节从动杆(72)通过轴承安装在调节转动板(73)上，调节转动板(73)安装在调节工作电机(74)的输出轴上，调节工作电机(74)通过电机座安装在滚磨参照架(41)上。

4.根据权利要求1所述的一种制作LED晶圆专用的硅晶棒智能加工设备，其特征在于：所述执行机构(49)包括安装在执行作业架(47)上的两个执行固定架(491)，两个执行固定架(491)对称位于执行作业架(47)的前后两侧，每个执行固定架(491)上均通过轴承安装有一个执行滚磨辊(492)，安装在两个执行滚磨架上的执行滚磨辊(492)之间设置有执行滚磨带(493)，位于执行作业架(47)前端的执行滚磨辊(492)通过联轴器与执行滚磨电机(494)的输出轴相连，执行滚磨电机(494)通过电机座安装在执行固定架(491)上。