[发明专利]涂布机光阻回收系统

说明书

本发明涉及一种可回收涂布机光阻系统，包括光阻桶、脱气模组、过滤器、涂布泵、涂布头、光阻回收罐和光阻回收桶，所述可回收涂布机光阻系统包括新光阻供给系统和光阻回收系统，所述新光阻供给系统中，光阻回收桶连接脱气模组，脱气模组连接过滤器，过滤器连接涂布泵，涂布泵连接涂布头；所述光阻回收系统中，脱气模组、过滤器、涂布泵和涂布头分别与光阻回收罐连接，光阻回收罐连接光阻回收桶，光阻回收桶连接脱气模组。本发明的有益效果：1）最大程度的回收浪费的光阻用于产品生产，避免光刻胶浪费。2）集光阻回收利用和废液收集于一体，并且自动回收及自动供应。

技术领域

本发明是一种涂布机光阻回收系统，属于显示器制备技术领域。

背景技术

进几年内随着国内LCD厂的不断增加及新型显示技术的冲击，LCD产品价格不断下跌，为了盈利LCD的制造厂家不断实施成本消减，希望降低制造成本。制造成本主要为材料成本，LCD材料成本中主要包括玻璃基板、光刻胶及化学品药剂。其中玻璃基板及化学品国内厂家已经可以制造，实现国产化后费用大幅缩减。但光刻胶材料一直掌握在日本厂家手中，价格以克计算，非常昂贵。所以尽可能的减少光刻胶的用量对制造成本来讲意义重大。

光刻技术中涂布是最重要的制程，目前在5代以上的平板制造中涂布机均采用Slit涂布的技术，其优点是涂布光阻的均一性更好，光阻的利用率也大幅提升。目前Slit涂布的主要步骤为：涂布嘴的清洁→光阻预涂→涂布产品，其中光阻预涂部分的光阻无法用于生产而被浪费，另外涂布机在产品换型时涂布机管路内、光阻泵内、光阻过滤期内的光阻均被排出，造成大量浪费，既浪费成本，也不符合绿色环保。

发明内容

本发明提出的是一种涂布机光阻回收系统，其目的在于针对现有技术中光刻胶实施单一供给，除了用于产品的光刻胶外其余光刻胶的使用均被以废液排出，造成大量资源浪费的缺陷，提出了一种涂布机光阻回收系统，最大程度的回收浪费的光阻用于产品生产，以避免光刻胶浪费。

本发明的技术解决方案：

可回收涂布机光阻系统，包括光阻桶、脱气模组、过滤器、涂布泵、涂布头、光阻回收罐和光阻回收桶，所述可回收涂布机光阻系统包括新光阻供给系统和光阻回收系统，所述新光阻供给系统中，光阻回收桶连接脱气模组，脱气模组连接过滤器，过滤器连接涂布泵，涂布泵连接涂布头；所述光阻回收系统中，脱气模组、过滤器、涂布泵和涂布头分别与光阻回收罐连接，光阻回收罐连接光阻回收桶，光阻回收桶连接脱气模组。

本发明的有益效果：

1）最大程度的回收浪费的光阻用于产品生产，避免光刻胶浪费。

2）集光阻回收利用和废液收集于一体，并且自动回收及自动供应。

附图说明

附图1是可回收涂布机光阻系统示意图。

附图2是可回收涂布机光阻系统的结构示意图。

附图3是可回收涂布机光阻系统的结构示意图。

图中1是光阻供给系统、2是废液系统、3是AIR VENT TANK DRIN、4是脱气模组、5是过滤器、6是涂布机排泡、7是光阻泵、6是废液桶、6是回收桶、6是废液泵。

附图中，粗实线箭头表示光阻供给路线，细实线箭头表示光阻回收路线，虚线路线表示废液收集路线。

具体实施方式